[发明专利]定位装置、曝光装置以及物品的制造方法

摘要

本发明提供有利于高精度地测量载置台的位置的定位装置、曝光装置以及物品的制造方法。进行板的定位的定位装置包括：载置台，能够保持所述板并在第1方向上移动；以及测量部，在所述第1方向上射出光，并基于由设置于所述载置台的上表面之上的反射构件反射的光，测量所述载置台在所述第1方向上的位置，所述载置台在所述第1方向上的所述板与所述反射构件之间具有壁部，该壁部用于减少因所述载置台向所述第1方向的移动而所述板的周围的气体侵入到所述测量部的光路的情形，所述壁部构成为其上端比所述板的上表面高，且与所述板以及所述反射构件分离地配置。