[发明专利]主动减震系统及具有其的扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 202011019851.2 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112228494A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 金炳喆;曲扬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | F16F15/00 | 分类号： | F16F15/00;F16F15/02;F16F15/027;F16F15/08;H01J37/28;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 何家鹏 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请属于半导体量测技术领域，具体涉及一种主动减震系统及具有其的扫描电子显微镜，该主动减震系统包括缓冲组件、支撑台、震动传感器和施力装置，支撑台设置于设备内，且支撑台与设备通过缓冲组件连接，设备承受的震动通过缓冲组件传递至支撑台，施力装置与支撑台连接，震动传感器设置于支撑台上并与施力装置电连接，震动传感器将支撑台接收到的震动转化为震动信号并发送至施力装置，施力装置根据震动传感器发送的震动信号向支撑台施加反震动力。根据本申请的主动减震系统，通过震动传感器和施力装置配合，震动传感器可以感受设备的微小震动，并通过施力装置主动缓解设备的微小震动。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 减震 系统 具有 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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