[发明专利]有机发光显示基板的制法有效
申请号: | 202011014409.0 | 申请日: | 2020-09-24 |
公开(公告)号: | CN112164766B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 王一佳;张明 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 黄舒悦 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种有机发光显示基板的制法,包含以下步骤:提供衬底,所述衬底上定义有显示区、屏下器件区及位于显示区与所述屏下器件区间的阻隔区,及依序设置有第一无机层及第二无机层;施行第一蚀刻工艺,于所述隔离区内的所述第二无机层及所述第一无机层内分别形成第一开口与第二开口;施行第二蚀刻工艺,部分移除为所述第二开口所露出的第一无机层,将所述第二开口扩张成第三开口;形成挡墙于所述第三开口内,并将所述第三开口定义出靠近所述显示区的第一子开口及远离所述显示区的第二子开口;形成有机发光层于所述第二无机层、所述第一无机层、及所述挡墙上;形成有机层,填满靠近所述第一子开口;及形成第三无机层,覆盖所述有机层及所述有机发光层。 | ||
搜索关键词: | 有机 发光 显示 制法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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