[发明专利]一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构在审
| 申请号： | 202010953798.7 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112064107A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张红梅;唐宏波;解永强;徐海涛 | 申请（专利权）人： | 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所） |
| 主分类号： | C30B11/04 | 分类号： | C30B11/04;C30B29/48 |
| 代理公司： | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构，解决了如何完成炉内温度场梯度分布的技术问题。在下炉体内腔（18）中，设置有沿上下竖直方向的下保温筒（20），在上保温筒支撑支架（10）上设置有沿上下竖直方向设置的上保温筒（11），在上保温筒（11）的顶端设置有盖板（12），下保温筒（20）与上保温筒（11）的底端对接在一起，下炉体（1）的炉底板、下保温筒（20）、上保温筒（11）和盖板组成一个封闭的炉内温度场空间，在该封闭的炉内温度场空间内设置有金属均温筒（14）、防爆裂石英筒（15），在驱动轴（23）的顶端设置有石英坩埚支架（22）和石英坩埚（16），实现了大直径碲化汞晶体的生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 温度场 梯度 分布 高压 单晶炉炉体 结构 | ||
【主权项】：
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