[发明专利]一种4H-SiC沟槽绝缘栅双极型晶体管在审

专利信息
申请号: 202010023544.5 申请日: 2020-01-09
公开(公告)号: CN111524970A 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 王颖;毛鸿凯;曹菲;于成浩 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739;H01L29/423;H01L29/16;H01L29/06
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 杨舟涛
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提出了一种4H‑SiC沟槽绝缘栅双极型晶体管,包括N‑电压阻挡层、N‑型缓冲层、P型沟道区、P+欧姆接触区、N+发射区、P+集电极区、沟槽栅极以及栅极氧化层等;本发明相对于传统结构,主要提出了在集电极将P+集电区深入到了N‑型的电压阻挡层,同时也引入了间隔分布的p‑poly/p‑SiC异质结。由于新结构中将P+集电区深入到了N‑型电压阻挡层的内部,所以器件正常工作时其可以进行正常的空穴注入,从而改善正向特性;同时由于集电极区域引入了异质结,其为N‑电压阻挡层中载流子的泄放提供了额外的低阻通路,所以器件关断时电子的泄放速度明显加快,进而减小了拖尾电流,降低了关断损耗。
搜索关键词: 一种 sic 沟槽 绝缘 栅双极型 晶体管
【主权项】:
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