[发明专利]有机-无机杂化光刻胶工艺液体组合物在审
| 申请号： | 201980052922.8 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN112543890A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李秀珍;李昇勋;李昇炫 | 申请（专利权）人： | 荣昌化学制品株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在有机‑无机杂化光刻胶的薄膜形成工艺、显影工艺、剥离工艺中使用的有机‑无机杂化光刻胶工艺液体组合物及其处理方法。工艺液体组合物由：化学式1的化合物，以及酮类、酯类、醚类、添加剂或它们的混合物组成。工艺液体组合物不仅对有机物的处理优异而且对无机物的吸附能力优异而使无机物的残留最小化，从而能够预防工艺不良。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 无机 光刻 工艺 液体 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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