[发明专利]空间可变晶圆偏置功率系统在审

专利信息
申请号: 201980049348.0 申请日: 2019-07-29
公开(公告)号: CN112514254A 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 肯尼斯·米勒;迪麦西·津巴;约翰·卡斯凯德;詹姆斯·普拉格;艾丽亚·斯劳伯道夫 申请(专利权)人: 鹰港科技有限公司
主分类号: H03K3/01 分类号: H03K3/01;H03K3/017;H03K3/64;H03K3/78;H01J37/02
代理公司: 上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389 代理人: 黄庆
地址: 美国华盛顿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种等离子体沉积系统,其包括晶圆平台、第二电极、第一电极、第一高电压脉冲发生器和第二高电压脉冲发生器。在一些实施例中,所述第二电极可以部署得与所述晶圆平台接近。在一些实施例中,所述第二电极可以包括:盘形状,其具有中心孔径;中心轴;孔径直径和外径。在一些实施例中,所述第一电极可以部署得与所述晶圆平台接近并且处于所述第二电极的所述中心孔径内。在一些实施例中,所述第一电极可以包括盘形状、中心轴和外径。在一些实施例中,所述第一高电压脉冲发生器可以与所述第一电极电耦合。在一些实施例中,所述第二高电压脉冲发生器可以与所述第二电极电耦合。
搜索关键词: 空间 可变 偏置 功率 系统
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  • 2019-12-27 - 2020-07-28 - H03K3/01
  • 本实用新型公开了一种手持信号发生器,包括外壳,所述外壳的侧壁固定连接有保护套,所述外壳的下表面固定连接有提手,所述外壳的左侧壁固定连接有握把,所述握把的上方设置有开关,所述外壳的底部固定连接有挂绳扣,所述外壳的内部且靠近上表面设置有信号发射头,所述信号发射头的右侧固定连接有屏蔽板,所述外壳的右侧壁设置有按钮,所述外壳的顶部活动连接有显示屏,所述显示屏的左侧壁固定连接有硬橡胶套。本实用新型,对信号发生器的保护更加全面,使用时利用绳子将发生器栓在手上,让发生器不会摔落到地面,采用面积更大且可以任意旋转角度的显示屏,可以清晰看见数据,方便操作人员操作。
  • 一种位置脉冲输入电路及其驱动方法-202010222300.X
  • 谢子阳;张德伟;杨宝平;陈通 - 苏州灵猴机器人有限公司
  • 2020-03-26 - 2020-06-12 - H03K3/01
  • 本发明实施例公开了一种位置脉冲产生电路及其驱动方法,通过主控模块接收上位机传输的电平选择控制信号,并将电平选择控制信号传输至选择芯片,选择芯片根据输入端接收到的信号选择输出端输出导通或关断控制信号,选择电路中开关单元根据自身控制端接收到的控制信号导通或关断,使得脉冲电平选择电路可以选择不同的第一外部电压信号,进而可以实现不同规格电平的灵活切换;第一电阻的阻值与对应的开关单元第一端所接入的第一外部电压信号和光耦隔离电路第二输入端接入的第二外部电压信号所形成的脉冲信号幅值正相关,可使得脉冲电平选择电路中不同开关单元导通时,限流电路中的第一电阻都可以起到良好的限流作用,实现不同规格电平的兼容。
  • 隔离型方波降频电路-201921902065.X
  • 李海兵;于金凤 - 苏州市欧曼宇智能科技有限公司
  • 2019-11-06 - 2020-06-09 - H03K3/01
  • 本实用新型公开了一种隔离型方波降频电路,包括降频芯片和隔离芯片,降频芯片根据计数脉冲的个数将输入方波信号转换成频率低于该输入方波信号的低频方波信号;隔离芯片具有输入端、隔离输出端和隔离电源端;降频芯片的低频方波信号接入隔离芯片的输入端,外接的隔离电源接入隔离芯片的隔离电源端,隔离芯片使用隔离电源的电压值隔离低频方波信号的幅值,隔离后的低频方波信号通过隔离输出端输出。本实用新型的隔离型方波降频电路,转换输入方波信号为低频方波信号,解决目前低速测量仪无法测量高速方波信号频率的问题;同时,输入信号和输出信号完全隔离,解决降频芯片输出信号的过冲振荡问题,使得低频方波信号较为平滑,提高低频方波信号的质量。
  • 涡旋态磁通晶格的连续波射频场调控电路结构及调控方法-201911326864.1
  • 吴国庆;曹荣幸;曾祥华 - 扬州大学
  • 2019-12-20 - 2020-04-28 - H03K3/01
  • 本发明公开了一种对高温超导材料中涡旋态磁通晶格的连续波射频场调控电路结构以及调节方法,电路结构包括调控电路输入端、调控电路输出端、金属线圈、附加电感、附件内阻、可控电容、固定电阻。金属线圈在电路里可等效成线圈电感和线圈电阻。输入端直接连接波频发生器或者通过电磁耦合形式输入连续波频。输出端连接至外加光谱分析仪,用于对调控电路的输出结果进行观察。本发明中绕制线圈的内部空间与样品体积相接近,保证探测具有较高灵敏度。在保证整个振荡回路无击穿的前提下,增大射频场的功率和持续时间,实现对磁通晶格更有效的调控。本发明有效地对高温超导材料中涡旋态磁通晶格进行调控;同时也能灵敏地观测到磁通晶格的运动的调控效果。
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