[发明专利]用于OLED像素蒸镀的金属板材料的蒸镀用掩模有效
| 申请号： | 201980046745.2 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN112534605B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张祐荣;白智钦;姜地勋;郭正敏 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/16 | 分类号： | H10K71/16;H10K50/10;H10K59/12;H01L21/02;C23C14/24;H01L21/033 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在实施例的用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模中，所述蒸镀用掩模包括用于形成蒸镀图案的蒸镀区域和除所述蒸镀区域以外的非蒸镀区域，所述蒸镀区域包括沿长度方向隔开并形成有多个通孔的多个有效部和除所述有效部以外的非有效部，所述通孔包括：小表面孔，形成于所述蒸镀用掩模的一表面上；大表面孔，形成于所述蒸镀用掩模的与所述一表面相反的另一表面上；以及连通部，连接所述小表面孔与所述大表面孔的分界，其中，所述小表面孔和所述大表面孔中至少一个的内侧表面的均方根表面粗糙度小于150nm。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 oled 像素 金属板 材料 蒸镀用掩模 | ||
【主权项】：
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- 胡璐 - 南京华易泰电子科技有限公司
- 2020-06-04 - 2023-06-27 - H10K71/16
- 本发明涉及显示器件技术领域，尤其为一种解决OLED制程中蒸镀RGB后光阻不易剥离的方法，包括如下步骤，第一步：光阻涂覆，涂覆第一光阻层PR1和第二光阻层PR2；第二步：UV曝光，对第一光阻层PR1进行曝光处理；第三步：光阻显影，对第一光阻层PR1和第二光阻层PR2进行显影处理；第四步：干蚀刻调节，将显影完成后的基板整体放置于干蚀刻的腔盆中；本发明具备可以使光阻剥膜液与光阻进行很好接触，且缩短去除光阻工艺消耗的时间的优点，解决了现有的显示器件蒸镀后易导致光阻剥膜液不能很好的与光阻相接触，从而影响光阻去除，此种现象会使OLED黄光制程过程中去除光阻工艺消耗的时间过长，甚至导致光阻无法顺利去除，从而影响后续制程的问题。
- 一种显示屏及其制备方法-202310165634.1
- 杨凯;张羿;江梦月 - 昆山国显光电有限公司
- 2023-02-24 - 2023-06-23 - H10K71/16
- 本申请提供一种显示屏及其制备方法。该显示屏的制备方法包括：提供层叠设置的基板和背板，背板具有至少一待加热部；提供第一掩膜版，使第一掩膜版位于基板背离背板的一侧，并使待加热部加热至第一预定温度；第一掩膜版具有至少一第一掩膜开口，待加热部与第一掩膜开口对应设置，且待加热部在第一掩膜版上的正投影位于第一掩膜开口内；利用第一掩膜版和背板配合在基板上蒸镀第一有机材料，以在基板背离背板的一侧表面形成第一功能层。该方法可以利用现有掩膜版制得盲孔屏和圆环屏等特殊形状的显示屏；且无需增设去除基板上部分第一有机材料以形成环形显示屏的工艺，简化了工艺，加快了制备效率。
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