[发明专利]化合物、树脂、组合物和图案形成方法在审
| 申请号： | 201980009090.1 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111615507A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 越后雅敏;冈田悠;泷川具明;牧野岛高史 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C321/26 | 分类号： | C07C321/26;C08G10/04;C09K3/00;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于，提供：能应用湿式工艺、为了形成耐热性、溶解性和耐蚀刻性优异的光致抗蚀剂和光致抗蚀剂用下层膜而有用的化合物等。前述课题可以通过下述式(1)所示的化合物而解决。 |
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| 搜索关键词： | 化合物 树脂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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