[实用新型]一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机有效
| 申请号： | 201920777312.1 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN210341044U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;潘锐华;陈思 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 赖智威;周克佑 |
| 地址： | 523820 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及平移启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过平移启闭机构安装在腔口处；通过驱动平移启闭机构往腔口方向作平移运动，可使得靶门自动密封盖在腔口处；通过驱动平移启闭机构往远离腔口方向作平移运动，可使得靶门自动脱离腔口并由平移启闭机构带动向腔口侧边平移开。本实用新型能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 平移 式靶门 隔离 镀膜 | ||
【主权项】：
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