[实用新型]一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机

权利要求书

1.一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：

靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；

伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；

靶门及平移启闭机构，所述靶门通过所述平移启闭机构安装在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动密封盖在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往远离所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动脱离所述腔口并由所述平移启闭机构带动向所述腔口侧边平移开。

2.根据权利要求1所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。

3.根据权利要求1所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶腔的壁板上设有用于对所述靶腔进行抽真空的抽气口。

4.根据权利要求1所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述平移启闭机构包括第一直线运动机构、平移板、连杆、弹簧和限位轮，所述第一直线运动机构安装在所述真空镀膜室的壁板上，所述平移板安装在所述第一直线运动机构的活动端，所述靶门与所述平移板面对面设置，所述连杆和弹簧位于所述靶门与所述平移板之间，所述连杆两端分别与所述靶门和所述平移板铰接，所述弹簧的两端分别与所述靶门和所述平移板固定连接，所述限位轮设在所述腔口侧边；当所述第一直线运动机构往远离所述腔口方向运动时，所述连杆向侧倾斜，所述弹簧收缩，所述靶门被拉起；当所述第一直线运动机构往所述腔口方向运动至所述靶门正对所述腔口时，所述限位轮抵挡在所述靶门的侧面上，限制所述靶门继续平移。

5.根据权利要求4所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：沿所述腔口的边缘设有凸出的密封环，在所述靶门上对应所述密封环的位置设有靶门密封圈，沿所述靶门的边缘设有凸缘；当所述靶门密封盖在所述腔口处时，所述凸缘围绕在所述密封环外围。

6.根据权利要求5所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述第一直线运动机构为气缸，该气缸通过第一动密封组件对应安装在真空镀膜室的壁板的外表面上，气缸的活塞杆穿入真空镀膜室内。

7.根据权利要求1所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述伸缩机构包括第二直线运动机构、滑动套管、连接板和第二动密封组件，所述滑动套管活动穿过所述靶腔的壁板，通过所述第二动密封组件密封，所述靶体固定安装在所述滑动套管的里端，所述第二直线运动机构安装在所述靶腔的壁板的外表面，所述连接板连接所述第二直线运动机构的活动端和所述滑动套管的外端。

8.根据权利要求7所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述靶体内设有液体流道，在所述滑动套管内设有出液管和进液管，所述出液管和进液管与所述滑动套管之间绝缘，所述出液管和进液管的里端分别与所述液体流道的出液口和进液口连接，所述出液管和进液管的外端分别从所述滑动套管的外端穿出。

9.根据权利要求8所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述靶体包括靶材、铜板、极靴、隔水胶皮、靶座和若干磁铁，在所述靶座的面向真空镀膜室的表面设有安装槽，所述隔水胶皮平贴在所述安装槽的底面，所述极靴设置在所述隔水胶皮的表面，所述铜板密封盖在所述安装槽的槽口处，所述磁铁分布在所述铜板与所述极靴之间，所述靶材平贴固定在所述铜板的外表面上；在所述铜板与所述极靴之间形成所述液体流道，在所述靶体上还设有与所述液体流道连通的出液通道和进液通道，所述出液通道和进液通道的外端即为所述出液口和进液口。

10.根据权利要求9所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述镀膜机还包括靶体固定板，所述靶体固定板固定在所述滑动套管的里端，所述靶座通过绝缘固定组件固定在所述靶体固定板上，所述靶座与所述靶体固定板之间留有间隔。