[实用新型]化学气相沉积炉尾气处理装置有效
| 申请号： | 201920341918.0 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN210410057U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 李培元;薛亮;杨睿欣;崔鹏;周蕊;王岩 | 申请（专利权）人： | 西安航空制动科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D45/08;B01D53/18 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 慕安荣 |
| 地址： | 713106 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积炉尾气处理装置，尾气管道的上端与化学气相沉积炉炉体连通；夹层结构的尾气管道的下端与焦油收集罐的入口连通。该焦油收集罐的出口与洗气罐的入口之间通过循环管道连通。在该尾气管道内圆周表面分布有多个螺旋排布的挡板，以层层拦截阻挡由化学气相沉积炉出来的高温反应尾气，使大部分尾气中的焦油、粉尘和碳黑等会由气态变为固态凝结在挡板或尾气管道壁上，防止大量焦油等副产物被快速吸入真空系统中，保持真空系统能够长时间连续运行。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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