[实用新型]化学气相沉积炉尾气处理装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，包括尾气管道、焦油收集罐、挡板和洗气罐；其中：

所述尾气管道的上端与化学气相沉积炉炉体的上部的孔口连通；该尾气管道的下端与所述焦油收集罐的入口连通；该焦油收集罐的出口与洗气罐的入口之间通过循环管道连通；所述洗气罐的出口与真空泵连通；所述的尾气管道的壳体为夹层结构；

在该夹层的下端开有循环加热油进口，在该夹层的上端开有循环加热油出口；所述尾气管道壳体夹层两个内表面之间的间距为10～20mm；在该尾气管道内圆周表面分布有多个螺旋排布的挡板。

2.如权利要求1所述化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，所述多个挡板均为平板，该挡板的一端为固支端，另一端为悬臂端；所述固支端端面为圆弧状，该圆弧的半径与所述尾气管道的内半径相同，将该挡板的固支端焊接固定在尾气管道内圆周表面，并使该挡板的悬臂端与所述固支端之间有45°的夹角α，使该挡板的表面为45°的斜面；所述斜面的倾斜方向为尾气管道内的下端。

3.如权利要求1所述化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，各所述挡板的长度为所述尾气管道内径的五分之三，宽度为该尾气管道内表面周长的四分之一；所述周向相邻的两个挡板相邻的侧表面之间的间距为零，使所述轴向相邻的挡板之间的垂直距离与该挡板的长度相同。

4.如权利要求1所述化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，所述尾气管道夹层内循环通入60～80℃的机油。

5.如权利要求1所述化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，所述洗气罐内部装有真空泵油；所述焦油收集罐与所述洗气罐连接的循环管道出口位于该真空泵油的油液面以下。

6.如权利要求1所述化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，所述焦油收集罐和所述洗气罐均为密封罐。