[发明专利]一种镁靶材的制造方法在审
| 申请号： | 201911031721.8 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110643959A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 冯波 | 申请（专利权）人： | 冯波 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/06 |
| 代理公司： | 61214 西安弘理专利事务所 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 718103 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种镁靶材的制造方法，包括以下步骤：选取镁锭坯料；将镁锭坯料进行第一热处理，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延，形成第一镁坯；对第一镁坯进行第二热处理，然后将保温热处理后的第一镁坯进行热轧延，形成第二镁坯；对第二镁坯冷却后进行冷轧延，形成冷轧坯，形成第三镁坯；对第三镁坯进行第三热处理，然后将保温热处理后的第三镁坯进行热轧延，形成第四镁坯；将第四镁坯做退火热处理，得到镁靶坯，之后通过机械加工即得镁靶材。本发明使得镁坯中的元素产生固态扩散，来减轻化学成分分布的不均匀性，缩小晶粒尺寸，促进致密化，保证了烧结体的密度、纯度和晶粒细小均匀；得到的最终成品表面光洁度好。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 保温热处理 热轧 晶粒 靶材 冷轧 镁锭 坯料 退火 表面光洁度 不均匀性 固态扩散 机械加工 铸锭坯料 最终成品 烧结体 致密化 冷却 制造 保证 | ||
【主权项】：
1.一种镁靶材的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1：选取镁锭坯料；/n步骤2：将步骤1中的镁锭坯料进行第一热处理，第一热处理的温度为460～500℃，保温时间1～5h，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延，形成第一镁坯；/n步骤3：对步骤2中形成的第一镁坯进行第二热处理，第二热处理的温度为410～450℃，保温时间为1～3h，然后将保温热处理后的第一镁坯进行热轧延，形成第二镁坯；/n步骤4：对步骤3得到的第二镁坯冷却到20～25℃后进行冷轧延，形成冷轧坯，形成第三镁坯；/n步骤5：对步骤4中形成的第三镁坯进行第三热处理，第三热处理的温度为300～350℃，保温时间为0.5～2.5h，然后将保温热处理后的第三镁坯进行热轧延，形成第四镁坯；/n步骤6：将步骤5中形成的第四镁坯做退火热处理，退火热处理温度为300～650℃，时间为1～5h，得到镁靶坯，之后通过机械加工即得镁靶材。/n
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