[发明专利]一种铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201911008813.4 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110670029A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 张高会;汪阳;汪凯;李红卫;李凤鸣;乔宪武 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层，其特征在于，包括铝合金、Ti层、TiN层和TiAlSiN层，所述Ti层镀在铝合金表面作为过渡层，所述TiN层与TiAlSiN层交替沉积在Ti过渡层之上。本发明还公开了一种铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层及其制备方法。本发明通过多弧离子镀工艺将Ti单质靶和Ti‑Al‑Si合金靶在铝合金表面沉积以Ti层为过渡层、TiN层和TiAlSiN层交替沉积的复合涂层。本发明获得的铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层技术改变了铝合金硬度低、耐磨性差的缺点，使铝合金的硬度和耐磨性明显提升，进一步拓宽铝合金的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金表面 复合涂层 过渡层 铝合金 耐磨 耐磨性 交替沉积 多弧离子镀 铝合金硬度 合金靶 单质 沉积 制备 | ||
【主权项】：
1.铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层，其特征在于，包括铝合金、Ti、TiN和TiAlSiN层，所述Ti层作为过渡层镀在铝合金表面，所述TiN层与TiAlSiN层交替沉积在Ti过渡层之上。/n
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- 2019-10-18 - 2019-12-17 - C23C14/32
- 本发明公开了一种高硬度AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层及其制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。所述AlTiN/AlTiSiN多层纳米复合涂层是由AlTiN层和AlTiSiN层相互交替叠加而成，涂层调制周期为150‑1000nm，周期数≥2。该复合涂层采用电弧离子镀膜技术制备，过程为：选取金属Ti靶、AlTi靶、AlTiSi靶，辉光清洗和轰击清洗后先沉积TiN过渡层，最后通入氮气作为反应气体，按照设定好的调制周期交替开启AlTi靶和AlTiSi靶沉积复合涂层。本发明制备出的涂层组织结构致密、涂层与基体间的结合力强，具有较高的硬度和强度，良好的耐磨损性能。
- 镀膜离子源的控制测试装置-201920304932.3
- 张鹏蛟;李俊周;钦杰;侯瑞;周博文;李文亮;许世全;张力平;孙安 - 江苏安德信超导加速器科技有限公司
- 2019-03-11 - 2019-12-17 - C23C14/32
- 本实用新型公开了一种镀膜离子源的控制测试装置，包含有设置在真空室内的石英锅，所述石英锅上连接有通过氩气的氩气管道，所述石英锅的下方还设有用于激发氩气的RF线圈，所述石英锅的上部设有栅网；通过采用抗干扰能力强的PLC控制器来处理数据的采集和控制外部硬件设备，提高了抗电磁干扰的能力，实现对镀膜离子源的工作范围的精确测量，以确保该镀膜离子源能够满足生产的需求，从而保证镀膜离子源的工作质量。
- 等离子表面处理装置-201920319490.X
- 云洋 - 深圳奥拦科技有限责任公司
- 2019-03-12 - 2019-12-17 - C23C14/32
- 本实用新型涉及一种等离子表面处理装置。等离子表面处理装置，包括：箱体、以及电极板，电极板包括置于箱体内的间隔设置的正极板和负极板，正极板和负极板之间形成用于放置一层工件的工作位。或，包括：箱体、以及间隔设置在箱体内的电极板，两个相邻电极板的极性相反，且相邻电极板之间形成用于放置一层工件的工作位。具有提高工件表面处理均匀度的优点。
- 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置-201911028871.3
- 彭建;田琳;夏虎 - 北京泰科诺科技有限公司
- 2019-10-28 - 2019-12-13 - C23C14/32
- 本发明公开了一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，涉及离子镀膜技术领域，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，密封绝缘件固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆沿轴向作往复运动，波纹管的一端与密封绝缘件的一端固定连接、另一端固定套设于连接杆外并与连接杆形成密封连接，连接杆穿过波纹管与引弧钩固定连接；离子镀膜装置包括真空腔室和上述的离子镀膜用引弧装置。本发明中，驱动装置带动引弧钩运动，作用力大，不易粘钩，设置波纹管进行静态密封，真空腔室密封性好、真空不易被破坏。
- 一种金属表面富含稀土元素超耐磨合金层的生产装置-201810199488.3
- 赵臻;田云峰 - 内蒙古中天宏远再制造股份公司
- 2018-03-12 - 2019-12-03 - C23C14/32
- 本发明提供了一种金属表面富含稀土元素超耐磨合金层的生产装置，属于金属表面富含稀土元素超耐磨合金层的生产装置领域。包括容纳器，所述容纳器内部形成真空室；所述真空室上设置有可打开的门，其特征在于，所述真空室内具有用于放置工件的第一放置台及第二放置台，所述第一放置台连接有第一调节杆，所述第二放置台连接有第二调节杆，所述第一调节杆及第二调节杆均延伸至所述容纳器的外部。本发明利用上述多种技术的组合，能够保护真空环境，提高改性层质量，使生产效率大大提高。
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