[发明专利]基于过渡层对外延薄膜与衬底结合力评价的过渡层材料选择方法有效
| 申请号： | 201711432502.1 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108154004B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 朱嘉琦;王杨;代兵;孙侨阳;刘康;舒国阳;高鸽;赵继文;刘本建;杨磊;韩杰才 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G16C10/00 | 分类号： | G16C10/00;G16C20/50;C30B25/16;C30B25/18 |
| 代理公司： | 23109 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 杨立超 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 本发明提供基于过渡层对外延薄膜与衬底结合力评价的过渡层材料选择方法，属于薄膜生长理论技术领域，具体涉及过渡层选择方法。本发明首先对选取的若干过渡层材料建立界面模型；然后计算无过渡层存在时的界面性能，判定是否需要过渡层；如需要过渡层，分别计算选取的不同材料作为过渡层时，衬底/过渡层和过渡层/薄膜的界面性能，并根据界面处净电荷量变化量和原子间化学键布居数，对过渡层对衬底和过渡层对薄膜的结合力进行综合评价并排序；根据排序结果选择前2～3种过渡层材料。本发明解决了现有技术确定是否需要过渡层，以及选取何种材料作为过渡层时，存在耗时长、浪费人力物力的问题。本发明可运用于薄膜的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 过渡层 过渡层材料 薄膜 衬底 结合力 界面性能 化学键 薄膜生长 界面模型 理论技术 量变化量 排序结果 人力物力 综合评价 界面处 净电荷 制备 耗时 排序 判定 | ||
【主权项】：
1.基于过渡层对外延薄膜与衬底结合力评价的过渡层材料选择方法，所述基于过渡层对外延薄膜与衬底结合力评价的过渡层材料选择方法具体包括以下步骤：/n步骤一、根据衬底材料和薄膜材料的性质，选取若干过渡层材料；/n步骤二、建立所需的界面模型；具体过程包括：/n21)根据晶体的晶格常数、晶格类型，分别建立衬底材料、过渡层材料和薄膜材料的晶体模型；/n22)基于晶体模型，根据晶面指数分别建立衬底材料、过渡层材料和薄膜材料的表面模型，调整表面的厚度和方向参数，并根据晶格常数建立超晶胞，使得将要结合成界面的两种材料的表面的晶格常数相差小于5％；/n23)将构造好的表面模型分别结合成衬底/薄膜、衬底/过渡层、过渡层/薄膜界面模型，并添加厚度不小于
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