[发明专利]一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用在审
申请号: | 201910921052.5 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN110541145A | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 曾浩恩;谭天明 | 申请(专利权)人: | 宁波丽成真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/14 | 分类号: | C23C14/14;C23C14/06;C23C14/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用,制程可分为以下几个步骤:1)工件脱脂清洁;2)固定与镀件夹具;3)抽真空;4)偏压等离子体清洁;5)离子源等离子体清洁;6)TiAl;7)TiAlN提供高硬度基地;8)TiAlON层,提供润滑性薄膜,使用复合式磁控溅射制作高硬度及低摩擦系数的微钻,使用TiAlON,可以使用较易取得的设备,本发明设计合理,可大规模推广。 | ||
搜索关键词: | 高硬度 等离子体清洁 偏压等离子体 低摩擦系数 磁控溅射 镀件夹具 真空镀膜 钻孔刀具 清洁 脱脂 抽真空 复合式 离子源 润滑性 钛薄膜 高铝 微钻 氧氮 制程 制作 薄膜 应用 基地 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用,其特征在于,包括以下步骤:/n工件脱脂清洁;/n固定与镀件夹具;/n抽真空;/n偏压等离子体清洁;/n离子源等离子体清洁;/nTiAl;/nTiAlN提供高硬度基地;/nTiAlON层,提供润滑性薄膜。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波丽成真空科技有限公司,未经宁波丽成真空科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910921052.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:掩模框架、掩模板以及掩模结构
- 下一篇:蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统
- 同类专利
- 镍钛导丝的镀钽装置-201920335583.1
- 张凯;黄陈兵;吴松柏;王超群 - 江阴法尔胜佩尔新材料科技有限公司
- 2019-03-15 - 2020-02-04 - C23C14/14
- 本实用新型涉及一种镍钛导丝的镀钽装置,它包括一个加热炉腔和电源,所述加热炉腔中放置有待镀钽的镍钛导丝和钽弧源,镍钛导丝形成电解池的阳极,钽弧源形成电解池的阴极,加热炉腔内通入氩气,在加热炉腔内电离出氩离子,在氩离子的撞击下,钽弧源的钽原子在镍钛导丝表面形成镀钽层。本实用新型镍钛导丝的镀钽装置适用于各类型镍钛导丝,沉积后的钽镀层均匀附着于导丝表面,有良好的显影效果。此外本装置采用的物理气相沉积(PVD)方式并不会对镍钛材料造成热损伤,而不影响导丝的物理性能和超弹功能特性,并能保持导丝自身扭转性等操作特性,头部经镀钽处理后,导丝可用整根热缩管热缩,不但提高了导丝腔体内走行的顺滑性。
- 镀覆钢材-201680056510.8
- 小林亚畅;德田公平;下田信之;后藤靖人;松村贤一郎 - 日本制铁株式会社
- 2016-09-29 - 2020-01-17 - C23C14/14
- 一种镀覆钢材,其具备钢材、被覆于上述钢材的表面的镀层和形成于上述钢材及上述镀层的边界的界面合金层,上述镀层的组成以质量%计含有Zn:20~83%及Al:2.5~46.5%,剩余部分包含Mg及杂质,且Mg含量为10%以上,上述镀层的组织包含准结晶相、MgZn
- 一种流沙纹理冰钻黑的镀膜方法-201810275290.9
- 钟吉林;黄译刚;胡继凤;邱积新 - 江西泽发光电有限公司
- 2018-03-30 - 2020-01-14 - C23C14/14
- 本发明公开了一种流沙纹理冰钻黑的镀膜方法,包括以下原材:铟棒、五氧化二铌板以及二氧化硅粉,其中,铟棒、五氧化二铌板以及二氧化硅粉设置在真空镀膜机的不同原料喷射口内,在对转印板进行辉光放电离子镀膜时,按照铟离子镀、二氧化硅分子镀、五氧化二铌分子镀、二次五氧化二铌分子镀和二次二氧化硅分子镀的顺序对进行。本发明的配方设计特点在于配方在实际的镀膜时能够镀出流沙纹理冰钻黑的外壳,整加工配方易于实现,满足了市场需求。
- 一种超耐磨的硬质碳基涂层-201911082344.0
- 史旭;唐智 - 纳峰真空镀膜(上海)有限公司
- 2019-11-07 - 2020-01-10 - C23C14/14
- 基材上镀有多层膜,由以下顺序排列组成:(i)由ta‑C组成的第一功能层;(ii)由ta‑C组成的第二功能层;(iii)(a)由ta‑C组成的第三功能层和包含一种基本元素碳化物的第一过渡层或者(b)由一种基本元素碳化物组成的第一过渡层和由一种基本元素组成的第二过渡层;其中ta‑C涂层中氢含量少于10%并且sp
- 一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用-201910921052.5
- 曾浩恩;谭天明 - 宁波丽成真空科技有限公司
- 2019-09-27 - 2019-12-06 - C23C14/14
- 本发明涉及一种真空镀膜制作氧氮高铝钛薄膜用于微钻孔刀具的应用,制程可分为以下几个步骤:1)工件脱脂清洁;2)固定与镀件夹具;3)抽真空;4)偏压等离子体清洁;5)离子源等离子体清洁;6)TiAl;7)TiAlN提供高硬度基地;8)TiAlON层,提供润滑性薄膜,使用复合式磁控溅射制作高硬度及低摩擦系数的微钻,使用TiAlON,可以使用较易取得的设备,本发明设计合理,可大规模推广。
- 高亮反光复合膜真空镀铝铝丝输送机构-201920407303.3
- 匡民;王昌炳 - 安徽环泰新材料科技有限公司
- 2019-03-28 - 2019-12-03 - C23C14/14
- 本实用新型公开了一种高亮反光复合膜真空镀铝铝丝输送机构,包括底座,所述底座上端安装有蒸发槽,所述蒸发槽前侧面均匀分布有若干通孔,所述通孔内固定连接有导向管,所述蒸发槽前侧面且位于通孔上端通过轴承座转动连接有第一转轴,所述第一转轴上均匀分布有压轮,所述压轮中部开设有第一凹槽,所述第一转轴下端通过轴承座转动连接有导辊,所述导辊均匀开设有第二凹槽,所述底座上端通过螺栓固定安装有电机,所述电机的输出端连接有主动带轮。本实用新型可以对铝丝自动进行输送,并且使铝丝平稳的输送,不会发生跑偏而造成铝丝折断,从而使得输送中断,影响复合膜镀铝质量,在节省了人力物力的同时也保证了生产质量。
- 应用于汽车车灯保护膜制作工艺的镀膜机-201920258637.9
- 安永 - 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司
- 2019-02-28 - 2019-11-19 - C23C14/14
- 本实用新型提供的应用于汽车车灯保护膜制作工艺的镀膜机,包括真空室、电极和电源,所述电极设置于真空室或真空室门内;所述电源为中频电源;所述中频电源的一输入端连接所述电极,另一输入端连接至真空室外壳。该镀膜机,电极与整个真空室的外壳之间的区域构成放电区域,增大了放电区域,提高了成膜效率。
- 用于可再充电电池的电极制造设备及锂沉积装置-201410069411.6
- 赵仔勋 - 三星SDI株式会社
- 2014-02-27 - 2019-11-15 - C23C14/14
- 本发明提供了一种可再充电电池的电极制造设备和一种用于可再充电电池的电极制造设备的锂沉积装置,根据本发明的用于可再充电电池的电极制造设备包括:真空室,具有内部空间;以及锂沉积器,容纳锂源并具有蒸发单元和喷嘴单元,蒸发单元加热并蒸发锂源,喷嘴单元设置在蒸发单元上并控制开口率以控制锂的沉积量。
- 专利分类