[发明专利]对位装置及对位方法有效
申请号: | 201610221987.9 | 申请日: | 2016-04-11 |
公开(公告)号: | CN106053343B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 黎育腾;曲昌盛;贺培诚;何贯睿;钟双兆;范植训;陈治诚 | 申请(专利权)人: | 台医光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/17;G01N21/21;G01N21/31 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 唐芳芳 |
地址: | 中国台湾新竹县竹东镇*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 对位装置及对位方法。本发明是关于对位装置、以及对位的方法。该对位装置提供了将该对位装置对位于被分析物用以测量被分析物的光学特性的光学架构。该对位方法提供了将一光学检测装置对位的步骤。 | ||
搜索关键词: | 对位 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种对位装置,其特征在于,包括:一光源,发射出参考光束;一对位光发射器,用于在被分析物上产生一对位光点;一图像分光器,用于引导该参考光束将准直光束导向被分析物,该被分析物将准直光束转换成检测光束;一第二分光器,引导该参考光束,以在被分析物上形成参考光点;一图像传感器,其通过该图像分光器获取该被分析物的图像;一微处理器处理要对位的图像信息;以及一存储器存储该图像信息和一预设对位信息,其中,该图像信息包括该参考光点、该对位光点、以及该被分析物的特征。
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