[发明专利]一种具有双离化室的离子源在审
| 申请号： | 201910688082.6 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110379698A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈张发 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有双离化室的离子源，包括第一离化室、第一吸极、第二离化室、第二吸极和抑制极；其中第一吸极位于第一离化室和第二离化室中间，第二吸极位于第二离化室和抑制极之间；所述气体输入至第一离化室被离化为初步等离子体，所述初步等离子体被第一吸极吸出并传输至第二离化室，所述初步等离子体在第二离化室中被离化为多价等离子体，所述多价等离子体被第二吸极吸出并传输至抑制极。本发明提供的一种具有双离化室的离子源，第一离化室将气体分子初步离化，第二离化室将初步等离子体进一步离化为多价等离子体，从而提高了离子源中多电荷离子的数量，提高了离子束流上限。 | ||
| 搜索关键词： | 离化 等离子体 离子源 吸出 多电荷离子 离子束流 气体分子 传输 | ||
【主权项】：
1.一种具有双离化室的离子源，其特征在于，包括第一离化室、第一吸极、第二离化室、第二吸极和抑制极；其中第一吸极位于第一离化室和第二离化室中间，第二吸极位于第二离化室和抑制极之间；所述第一吸极的电压低于第一离化室的电压，所述第二离化室的电压高于第一吸极和第二吸极的电压，所述抑制极接地；气体输入至第一离化室被离化为初步等离子体，所述初步等离子体被第一吸极吸出并传输至第二离化室，所述初步等离子体在第二离化室中被离化为多价等离子体，所述多价等离子体被第二吸极吸出并传输至抑制极。
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