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- [发明专利]一种离子源设备和镀膜系统-CN202310980108.0在审
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任翼;余桂龙;张殷;孙紫娟;何龙
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苏州岚创科技有限公司
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2023-08-04
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2023-09-22
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H01J37/08
- 本申请涉及一种离子源设备和镀膜系统，离子源设备包括、冷却管、灯丝和电极。其中，第一壳体具有第一顶板、第一底板和第一侧壁，第一顶板和第一底板相对设置并均与第一侧壁连接，三者围设出第一腔室；第一底板和第一侧壁设有联通的第一通道。冷却管与第一壳体固定连接，并与第一通道联通，冷却管用于向第一通道中供给冷却液。灯丝位于第一腔室中并与第一壳体固定连接。电极与灯丝电连接。本申请提供的离子源设备，通过电极与外界的电源连接给灯丝加热产生电子和热量，然后通过冷却管向第一壳体的壳体壁中通入冷却液，实现冷却第一壳体的作用，从而降低了离子源设备的壳体温度，有利于延长设备的使用寿命。
- 一种离子源设备镀膜系统
- [发明专利]一种离子注入机用离子源固定机构-CN202311006830.0在审
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孙小冬;王维;宋振海
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无锡翔域半导体有限公司
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2023-08-11
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2023-09-19
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H01J37/08
- 本发明涉及离子注入机技术，用于解决离子源固定机构拆卸耗费时间，固定结构易遗失，拆卸的连接线占用空间且易出现安装出错的问题，具体为一种离子注入机用离子源固定机构，包括旋转底板；本发明通过下滑动块在自身重力作用下，且受到降速箱内非牛顿流体的影响缓慢下滑，防止对连接线造成拉扯损伤，并通过同步插板带动上滑动块一起对连接线进行梳理，减小散乱的连接线占用空间的同时，便于工作人员对各段连接线的检查，通过传动齿带在传输过程中带动升降框架上的各个传动转轮进行转动，传动转轮转动过程中对松紧螺栓进行同步的松动操作，使对离子源的拆卸时间得到缩短，且拆卸下的松紧螺栓受到卡位框架的限制不会发生遗失的情况。
- 一种离子注入离子源固定机构
- [实用新型]离子源结构装置-CN202321223270.X有效
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马宏图;韩华;汪明刚;李琳琳
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中国科学院自动化研究所
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2023-05-19
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2023-09-12
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H01J37/08
- 本实用新型涉及脑科学设备技术领域，尤其涉及一种离子源结构装置，旨在解决离子源结构维护周期短，影响机台工艺效率的问题。本实用新型提供的离子源结构装置包括介质耦合窗、等离子体限制桶、内衬和多孔栅板；介质耦合窗与等离子体限制桶的上端连接，多孔栅板与等离子体限制桶的下端连接；内衬设置于等离子体限制桶内并与多孔栅板连接以形成容纳空间；内衬上开设有通孔。本实用新型通过在等离子体限制桶内设置内衬，内衬上开孔，多孔栅板和基片上的材料溅射出来生长到介质耦合窗和内衬的内表面，由于内衬的阻挡和分割，在内衬和介质耦合窗上形成不连续的金属薄膜，避免形成法拉第屏蔽，保证了离子源的稳定性，延长了维护时间。
- 离子源结构装置
- [发明专利]离子源结构装置-CN202310570106.4在审
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马宏图;韩华;汪明刚;李琳琳
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中国科学院自动化研究所
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2023-05-19
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2023-08-15
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H01J37/08
- 本发明涉及脑科学设备技术领域，尤其涉及一种离子源结构装置，旨在解决离子源结构维护周期短，影响机台工艺效率的问题。本发明提供的离子源结构装置包括介质耦合窗、等离子体限制桶、内衬和多孔栅板；介质耦合窗与等离子体限制桶的上端连接，多孔栅板与等离子体限制桶的下端连接；内衬设置于等离子体限制桶内并与多孔栅板连接以形成容纳空间；内衬上开设有通孔。本发明通过在等离子体限制桶内设置内衬，内衬上开孔，多孔栅板和基片上的材料溅射出来生长到介质耦合窗和内衬的内表面，由于内衬的阻挡和分割，在内衬和介质耦合窗上形成不连续的金属薄膜，避免形成法拉第屏蔽，保证了离子源的稳定性，延长了维护时间。
- 离子源结构装置
- [实用新型]离子发射装置及离子注入设备-CN202223587911.8有效
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苏文华
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杭州富芯半导体有限公司
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2022-12-29
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2023-08-01
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H01J37/08
- 本公开提供了一种离子发射装置及离子注入设备，离子发射装置包括离子源、放电腔和设于离子源和放电腔之间的绝缘套，绝缘套两端分别设有第一连接盘和第二连接盘，还包括绝缘套冷却系统，绝缘套冷却系统包括：冷却液通道，设于第一连接盘和/或第二连接盘内；制冷组件，连接冷却液通道；第一温度传感器和第二温度传感器分别设于冷却液通道的入口一侧和冷却液通道的出口一侧，用于检测进入冷却液通道的冷却液的第一温度和冷却液通道输出的冷却液的第二温度；控制电路，控制电路接收第一温度传感器和第二温度传感器的信号，并在第二温度与第一温度的差大于温度阈值时，使制冷组件增加工作压力。本公开能够改善绝缘套的冷却效果。
- 离子发射装置注入设备
- [实用新型]一种使用寿命久的微调机离子枪灯丝座结构-CN202320747918.7有效
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王启胜;陈哲;吴志军
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宁波晶创科技有限公司
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2023-04-07
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2023-08-01
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H01J37/08
- 本发明涉及离子枪技术领域。一种使用寿命久的微调机离子枪灯丝座结构，包括灯丝底座，灯丝底座上盖有铜板，灯丝底座上开设有阶梯形的定位安装孔，铜板上开设有有定位安装孔对应相通的导向安装孔，定位安装孔内设有T型的定位绝缘子，定位绝缘子的头部向下倒装在定位安装孔内，定位绝缘子的尾端纵向向上延伸，定位绝缘子内设有向铜板上方延伸的电极柱，铜板上方的电极柱外套设有紧固绝缘子。本发明提供了一种可以有效提高了绝缘子的使用寿命，降低资源浪费，节省成本的一种使用寿命久的微调机离子枪灯丝座结构；解决了现有技术中存在的离子枪内铜板和灯丝座夹持的绝缘子容易发生断裂或破损，在使用和后续的养护时都非常不便，成本高的技术问题。
- 一种使用寿命微调离子灯丝结构
- [发明专利]一种微波等离子体刻蚀设备及刻蚀方法-CN202310380340.0有效
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林默原
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苏州迈微能等离子科技有限公司
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2023-04-11
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2023-07-07
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H01J37/08
- 本发明公开了一种微波等离子体刻蚀设备及刻蚀方法，刻蚀设备包括微波功率源和等离子炬，等离子炬包括外管、内管和聚能喷头，聚能喷头包括均具有在轴向向外方向上内径缩小的变径结构的金属外管喷头及介质内管喷头，介质内管喷头与金属外管喷头的内壁贴合；介质内管喷头的外端面探出金属外管喷头的外端面，且所述介质内管喷头在外端部的缩率较其他变径结构处的缩率减小；或者，所述介质内管喷头相对于所述金属外管喷头探出的外端部为匀直段；微波功率源与内管连通并向内管馈入脉冲式的微波，其输出微波功率范围为20~500 W，微波的占空比小于或等于99%。本发明能够实现高能低温的等离子体刻蚀，避免在刻蚀过程中损伤被刻蚀物体。
- 一种微波等离子体刻蚀设备方法
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