[发明专利]一种用紫外光固化的芯片器件封装工艺有效

专利信息
申请号: 201910542874.2 申请日: 2019-06-21
公开(公告)号: CN110429170B 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 王钢;严兵;陈梓敏 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L33/52 分类号: H01L33/52;H01L33/56
代理公司: 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 代理人: 胡小英
地址: 510006 广东省广州市番*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种用紫外光固化的芯片器件封装工艺,包括如下步骤:S1.将紫外固化胶在室温下搅拌混合均匀后进行抽真空除气泡,形成均匀稳定的紫外固化胶;S2.将紫外固化胶均匀涂敷在封装基板和芯片表面,紫外固化胶对芯片形成包覆结构且与封装基板和芯片接触良好;S3.将所需波长的近紫外光均匀的照射在紫外固化胶表面,待紫外固化胶反应完全固化后移除近紫外光,完成紫外光固化封装工艺。本发明采用MTQ硅树脂、含有巯基的MTQ硅树脂、含有苯基的MTQ硅树脂和光引发剂制备紫外固化胶,极大地提高了紫外固化胶对芯片封装的密封性以及透明稳定性。本发明所述封装工艺成本低廉且高效快速,具有显著的经济效益。
搜索关键词: 一种 紫外 光固化 芯片 器件 封装 工艺
【主权项】:
1.一种用紫外光固化的芯片器件封装工艺,其特征在于,芯片由紫外固化胶和封装基板形成包覆结构,紫外固化胶在室温下经近紫外光照射能快速固化成型,完成封装工艺;所述紫外固化胶的原料为MTQ硅树脂、含有巯基的MTQ硅树脂、含有苯基的MTQ硅树脂和光引发剂;其中MTQ硅树脂是指由单官能团Si‑O单元与三官能团Si‑O单元和四官能团Si‑O单元聚合形成的一种有机硅树脂。
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