[发明专利]镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元有效
| 申请号： | 201910363847.9 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111856884B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 田清;彭云平;尹光才 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元，可动镜组模块的镜片固定单元通过定心单元设置在框架单元上；若干位置调整模块沿所述框架单元周向设置，每个所述位置调整模块包括驱动单元及柔性连杆单元，所述柔性连杆单元的一端与所述镜片固定单元连接，所述驱动单元提供沿垂直于光轴方向的位移以使所述柔性连杆单元沿设定方向形变，并使所述镜片固定单元沿光轴方向移动，从而实现了可动镜组与所述框架单元之间相对位置的调整，本发明中驱动单元可以横向设置，对空间要求低，并且柔性连杆单元可以对驱动单元的输出位移进行放大，可做到高精度的调整，制造及控制均容易实现。 | ||
| 搜索关键词： | 镜片 调整 装置 调式 光学系统 光刻 设备 定心 单元 | ||
【主权项】：
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