[发明专利]镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元

说明书

本发明提供了一种镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元，可动镜组模块的镜片固定单元通过定心单元设置在框架单元上；若干位置调整模块沿所述框架单元周向设置，每个所述位置调整模块包括驱动单元及柔性连杆单元，所述柔性连杆单元的一端与所述镜片固定单元连接，所述驱动单元提供沿垂直于光轴方向的位移以使所述柔性连杆单元沿设定方向形变，并使所述镜片固定单元沿光轴方向移动，从而实现了可动镜组与所述框架单元之间相对位置的调整，本发明中驱动单元可以横向设置，对空间要求低，并且柔性连杆单元可以对驱动单元的输出位移进行放大，可做到高精度的调整，制造及控制均容易实现。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元。

背景技术

在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像的像质变差，为了解决这一问题，一般采用可动镜组以补偿镜片的制造和装配误差。现有技术中可动镜组由三个均布的杠杆机构支撑，电机驱动杆直接与杠杆的一端接触，杠杆的另一端直接与可动镜片接触，外置的驱动器通过杠杆原理驱动可动镜组的移动，这样会带来密封问题，以及零件相互摩擦产生的颗粒污染问题，并且，由于外置的驱动器通常需要沿着可动镜组的光轴方向放置，不方便安装，且占用光轴方向空间较大。进一步，杠杆运动原理决定了在有限空间内的设计传动比较小，或者需要一个较大的空间才能获得更高手传动比，因而要实现更高的调整精度，整个机构占用的空间太大，不利于缩小尺寸。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元，以解决现有的可动镜组调整装置调整精度低、空间占用大等问题。

为了达到上述目的，本发明提供了，包括一种镜片调整装置，包括：

可动镜组模块，包括框架单元、镜片固定单元及定心单元，所述镜片固定单元通过所述定心单元设置在所述框架单元上；

若干位置调整模块，沿所述框架单元周向设置，包括驱动单元及柔性连杆单元，所述柔性连杆单元的一端与所述镜片固定单元连接，所述驱动单元提供沿垂直于光轴方向的位移以使所述柔性连杆单元沿设定方向形变，并使所述镜片固定单元沿光轴方向移动。

可选的，所述位置调整模块至少具有3个，至少3个所述位置调整模块沿所述框架单元周向均匀设置，每个所述驱动单元提供的位移相同时，所述镜片固定单元沿光轴方向移动；至少两个所述驱动单元提供的位移不相同时，所述镜片固定单元绕垂直于光轴方向转动。

可选的，所述柔性连杆单元包括拐角形本体，所述拐角形本体包括第一侧、第二侧、第三侧及第四侧，所述第一侧与所述第二侧相对，所述第三侧与所述第四侧相对，所述第一侧至少具有一个拐角，每个所述拐角处、所述第三侧的两端处及所述第四侧靠近所述第一侧的一端处均开设有第一通孔，每个所述第一通孔之间通过狭槽顺次连接以使位于所述第一通孔一侧的区域构成若干活动连杆，另一侧的区域构成固定连杆，所述驱动单元从所述第二侧沿垂直于光轴方向伸入所述拐角形本体中，并与靠近所述第四侧的活动连杆连接。

可选的，所述第三侧靠近所述第一侧的一端与所述镜片固定单元连接，所述驱动单元提供沿垂直于光轴方向的位移时，若干所述活动连杆相对转动以使所述柔性连杆单元沿设定方向形变。

可选的，所述第一通孔周围开设有若干第二通孔，所述第二通孔均位于所述活动连杆上。

可选的，所述第二通孔为圆形孔和/或半圆形孔。

可选的，所述活动连杆上设置有两个凹槽，两个所述凹槽沿所述活动连杆的中心线对称设置。

可选的，所述拐角形本体采用弹性金属材料制成。

可选的，所述驱动单元为驱动电机或微调螺杆结构。

可选的，所述定心单元为圆环形簧片，所述定心单元的内圈和外圈分别通过一固定件与所述镜片固定单元及所述框架单元连接。