[发明专利]镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元

权利要求书

1.一种镜片调整装置，其特征在于，包括：

可动镜组模块，包括框架单元、镜片固定单元及定心单元，所述镜片固定单元通过所述定心单元设置在所述框架单元上；

若干位置调整模块，沿所述框架单元周向设置，包括驱动单元及柔性连杆单元，所述柔性连杆单元的一端与所述镜片固定单元连接，所述驱动单元提供沿垂直于光轴方向的位移以使所述柔性连杆单元沿设定方向形变，并使所述镜片固定单元沿光轴方向移动；

所述柔性连杆单元包括拐角形本体，所述拐角形本体包括第一侧、第二侧、第三侧及第四侧，所述第一侧与所述第二侧相对，所述第三侧与所述第四侧相对，所述第一侧至少具有一个拐角，每个所述拐角处、所述第三侧的两端处及所述第四侧靠近所述第一侧的一端处均开设有第一通孔，每个所述第一通孔之间通过狭槽顺次连接以使位于所述第一通孔一侧的区域构成若干活动连杆，另一侧的区域构成固定连杆，所述驱动单元从所述第二侧沿垂直于光轴方向伸入所述拐角形本体中，并与靠近所述第四侧的活动连杆连接。

2.如权利要求1所述的镜片调整装置，其特征在于，所述位置调整模块至少具有3个，至少3个所述位置调整模块沿所述框架单元周向均匀设置，每个所述驱动单元提供的位移相同时，所述镜片固定单元沿光轴方向移动；至少两个所述驱动单元提供的位移不相同时，所述镜片固定单元绕垂直于光轴方向转动。

3.如权利要求1所述的镜片调整装置，其特征在于，所述第三侧靠近所述第一侧的一端与所述镜片固定单元连接，所述驱动单元提供沿垂直于光轴方向的位移时，若干所述活动连杆相对转动以使所述柔性连杆单元沿设定方向形变。

4.如权利要求1所述的镜片调整装置，其特征在于，所述第一通孔周围开设有若干第二通孔，所述第二通孔均位于所述活动连杆上。

5.如权利要求4所述的镜片调整装置，其特征在于，所述第二通孔为圆形孔和/或半圆形孔。

6.如权利要求1所述的镜片调整装置，其特征在于，所述活动连杆上设置有两个凹槽，两个所述凹槽沿所述活动连杆的中心线对称设置。

7.如权利要求1所述的镜片调整装置，其特征在于，所述拐角形本体采用弹性金属材料制成。

8.如权利要求1或2所述的镜片调整装置，其特征在于，所述驱动单元为驱动电机或微调螺杆结构。

9.如权利要求1或2所述的镜片调整装置，其特征在于，所述定心单元为圆环形簧片，所述定心单元的内圈和外圈分别通过一固定件与所述镜片固定单元及所述框架单元连接。

10.如权利要求9所述的镜片调整装置，其特征在于，所述定心单元靠近所述内圈和外圈的一段环面上均开设置有环形槽，以将该段环面的环厚减薄1/2-2/3。

11.如权利要求9所述的镜片调整装置，其特征在于，所述定心单元的环面上开设有若干第三通孔，若干所述第三通孔沿所述定心单元的周向均匀分布。