[发明专利]一种各向异性晶体紫外增透膜的制备在审
| 申请号： | 201910143528.7 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN109735800A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王昌运;吴先云;陈伟;张星;陈秋华;谢发利 | 申请（专利权）人： | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/58;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350003 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明所提出一种各向异性晶体表面紫外增透膜的制备，针对晶体的各向异性特点，优选膜系结构和镀制工艺参数，有效解决各向异性晶体镀制增透膜容易产生的表面出丝、光洁度差、损伤阈值低等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 各向异性晶体 增透膜 镀制 制备 光洁度 膜系结构 有效解决 晶体的 出丝 优选 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种各向异性晶体紫外增透膜的制备，其特征在于：膜系采用Al2O3，HfO2和SiO2三种膜料的组合，膜系结构为S /0.3M/0.36H/0.7M/0.7L/A，其中S代表基底材料，A代表空气，M代表1/4基频波长厚度的Al2O3，H代表1/4基频波长厚度的HfO2，L代表1/4基频波长厚度的SiO2，镀膜设备采用莱宝SYRUSPRO1100镀膜机，在真空环境中将基片表面加热至150℃后缓慢退火，本底真空抽至1.0x10‑6mbar以上；镀制前用低能量的离子源刻蚀40min，镀制过程温度恒定80℃，用低能量离子源辅助沉积，并辅助充入一定量的高纯氧气；镀后真空室内缓慢退火至55℃以下充气，充气完成后待晶体冷却至室温取出。
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- 本发明公开了一种PVD涂层的硬质合金基体表面预处理方法。该方法首先将硬质合金基体分别采用各号金刚石磨盘研磨、抛光后超声清洗，热风吹干放入真空箱中备用；镀膜时取出，装入炉腔进行两次加热和三次抽真空处理后向炉内连续通入氩气，利用电弧辅助等离子体刻蚀技术对基体进行离子刻蚀清洗。本发明由于两次长时间的加热将腔室内水蒸气、易挥发杂质及基体表面气体排出。电弧辅助等离子体放电技术产生均匀低能的高密度等离子体对基体进行刻蚀清洗。本发明在不损伤基体的前提下显著减少了基体表面杂质及气体，提高了基体表面活性、粗糙度以及基体温度，去除基体表面脱钴产生的疏松层，细化基体表面晶粒尺寸，提高膜基结合力及PVD涂层质量。
- 一种核反应堆用高效结合包覆层及其制备方法-201910554794.9
- 张瑞谦;杨红艳;邱绍宇;王昱;杜沛南;韦天国;陈寰 - 中国核动力研究设计院
- 2019-06-25 - 2019-08-09 - C23C14/02
- 本发明公开了一种核反应堆用高效结合包覆层，所述包覆层沉积在核反应堆用基体材料外表面上，包覆层由内向外依次包括Zr‑Cr或Ti‑Cr过渡层以及Cr沉积层。上述包覆层的制备方法，采用物理气相沉积法、热喷涂法、冷喷涂法、激光熔覆法、电镀法或化学气相沉积法，优选采用物理气相沉积法中的电弧离子镀。在锆合金基体材料上涂覆上述包覆层获得的包壳材料具有良好的耐腐蚀、膜基协同变形以及抗高温氧化能力，是一种有发展前景的耐事故燃料包壳材料，且以N36合金为基体的涂层包壳材料高温力学性能表现更好。
- 表面带有镀层的贵金属制品-201821070682.3
- 王彤;唐双喜 - 深圳市联合蓝海科技开发有限公司
- 2018-07-06 - 2019-08-09 - C23C14/02
- 本实用新型涉及贵金属表面镀层领域，公开了一种表面带有镀层的贵金属制品；其中，该贵金属制品包括：贵金属基体和依次附着在所述贵金属基体上的物理气相沉积层或水镀层或电泳层和透明膜层，所述贵金属为黄金或银。该贵金属制品表面所形成的膜层较薄，可呈现不同的色彩，改善贵金属基体单一的金色，该颜色的改变不会影响贵金属基体的成色；以及该透明膜层，能够使所形成的膜层更加稳定，增加耐磨性，且能够使形成的色彩更持久不褪色。
- 一种真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法-201910329777.5
- 李颖;杨国文;赵卫东;张艳春;沈佳铌 - 度亘激光技术（苏州）有限公司
- 2019-04-23 - 2019-07-19 - C23C14/02
- 本发明涉及清洁技术领域，具体涉及一种真空镀膜机腔体铝合金构件的清洗方法。该方法包括以下步骤：对所述铝合金构件进行喷砂处理；用高压水冲洗所述铝合金构件表面，将附着在铝合金构件表面的氧化物介质膜脱落物及大部分沙粒冲掉；对所述铝合金构件进行碱处理，以有效溶解嵌入构件表面的沙粒；对所述铝合金构件进行酸处理中和残留的碱；清洗所述铝合金构件；将所述铝合金构件装入干燥设备中进行干燥；在铝合金构件表面真空蒸镀保护层，可使得铝合金构件再次在真空镀膜设备进行镀膜时，有效抵抗氧化物介质膜在铝合金构件表面积累。
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