[发明专利]一种镀膜用大规格细晶粒铌管靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种镀膜用大规格细晶粒铌管靶材的制备方法，该方法包括：一、将铌条进行真空电子束熔炼得到铌铸锭；二、将铌铸锭进行两火次锻造后经机械加工，得到铌管坯；三、采用包套材料将铌管坯包覆密封并涂覆润滑剂，然后加热保温，再进行挤压得都铌管靶；四、将铌管靶校直后进行酸洗去除包套材料，然后进行真空热处理；五、将经真空热处理后的铌管靶进行机械加工，然后经抛光处理，得到铌管靶材。本发明通过两火次锻造和高温挤压相结合的加工方法减少了铌管靶中各区域晶粒尺寸的差异，获得均匀细小的晶粒组织，得到组织中晶粒平均尺寸小于80μm的铌管靶材，同时提高了铌管靶材的规格，使其适合铌镀膜用。

主权项

1.一种镀膜用大规格细晶粒铌管靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将铌条进行真空电子束熔炼，得到铌铸锭；所述铌铸锭的质量纯度不小于99.98％；步骤二、将步骤一中得到的铌铸锭进行两火次锻造，然后经机械加工，得到铌管坯；所述两火次锻造的总锻造比为1.3～3.4，总变形量为23％～71％；所述铌管坯的直径为155mm～255mm；步骤三、采用包套材料将步骤二中得到的铌管坯包覆密封并涂覆润滑剂，然后加热至950℃～1150℃保温1.5h～2h，再将保温后的铌管坯进行挤压，得到铌管靶；步骤四、将步骤三中得到的铌管靶校直后进行酸洗去除包套材料，然后进行真空热处理；步骤五、将步骤四中经真空热处理后的铌管靶进行机械加工，然后经抛光处理，得到铌管靶材；所述铌管靶材的组织中晶粒平均尺寸小于80μm，铌管靶材的外径为120mm～160mm，内径为100mm～140mm，长度为1000mm～3200mm。