[发明专利]激光气体管理系统、电子器件的制造方法和准分子激光系统的异常判定方法有效
| 申请号： | 201880088479.5 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111670520B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 对马弘朗;铃木夏志;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;G03F7/20;H01S3/00;H01S3/225;H01S3/23 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光气体管理系统包含：气体再生装置，其与多个准分子激光装置连接，将从多个准分子激光装置排出的激光气体再生为再生气体，向多个准分子激光装置供给再生气体；以及控制部，其判定多个准分子激光装置各自的至少一个参数是否超过预先决定的范围，在至少一个参数超过预先决定的范围的准分子激光装置的台数为2以上的情况下，控制部判定为气体再生装置异常。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 气体 管理 系统 电子器件 制造 方法 准分子激光 异常 判定 | ||
【主权项】：
暂无信息
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