[发明专利]带电粒子束源和用于组装带电粒子束源的方法在审
| 申请号： | 201880074000.2 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111712899A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 伊泰·阿苏林;奥弗·尤利;拉维·沙维特;盖伊·伊坦;纳坦·施利莫夫;伊戈尔·克里夫茨（克莱维茨）;雅各布·莱文;伊斯拉埃尔·阿夫内里;约拉姆·乌兹尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种带电粒子束源，所述带电粒子束源可包括发射器，所述发射器具有用于发射带电粒子的尖端；插座；电极；丝，所述丝连接到这些电极并且连接到所述发射器；用于向所述丝提供电信号的电极；支撑元件，所述支撑元件连接到所述发射器；和支撑结构，所述支撑结构包含一个或多个界面，所述界面用于在支撑所述支撑元件的同时仅接触所述支撑元件的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 用于 组装 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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