[发明专利]晶体振动片及晶体振动器件有效
申请号: | 201880021121.0 | 申请日: | 2018-06-04 |
公开(公告)号: | CN110463037B | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
发明(设计)人: | 吉冈宏树 | 申请(专利权)人: | 株式会社大真空 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 刘伟志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及晶体振动片及晶体振动器件。晶体振动片(2)中,保持部(24)只从位于振动部(22)的+X方向及‑Z′方向的一个角部朝着‑Z′方向延伸到外框部(23)。另外,振动部(22)和保持部(24)的至少一部分为比外框部(23)厚度薄的蚀刻区域(Eg),在蚀刻区域(Eg)的边界上形成有台阶,第一引出布线(223)被构成为,与该台阶重叠地从保持部(24)延伸到外框部(23)。与第一引出布线(223)重叠的部分的台阶的至少一部分被形成为俯视时不与X轴平行。 | ||
搜索关键词: | 晶体 振动 器件 | ||
【主权项】:
1.一种晶体振动片,是具有包括在一个主面上形成的第一激励电极和在另一个主面上形成的第二激励电极的近似矩形的振动部;从所述振动部的角部向AT切的Z′轴方向突出并保持着该振动部的保持部;及包围着所述振动部的外周的同时保持着所述保持部的外框部的AT切型晶体振动片,其特征在于:/n所述保持部与所述外框部间的边界位于所述外框部的内周边中与X轴平行的边上的情况下,/n所述振动部和所述保持部的至少一部分被形成为比所述外框部厚度薄的蚀刻区域,由于该蚀刻区域,所述保持部与所述外框部间的边界附近形成台阶,/n所述第一激励电极及所述第二激励电极的引出布线被形成为,与所述台阶重叠地从所述保持部延伸到所述外框部,/n所述一个主面和所述另一个主面的至少一方中,与所述引出布线重叠的部分的所述台阶的至少一部分被形成为俯视时不与X轴平行。/n
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