[实用新型]一种用于还原氯硅烷提纯的精馏节能装置

摘要

本实用新型公开了一种用于还原氯硅烷提纯的精馏节能装置，包括液相还原氯硅烷储槽、第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔、第一再沸器、第一塔釜泵、第二回流罐、第一回流泵、第二回流泵、第三再沸器、第三冷凝器、第三回流罐、第三回流泵、第三塔釜泵；液相还原氯硅烷储槽的出料口与第一精馏塔的进料口通过输送泵连通，第一精馏塔塔釜出液口与第一再沸器的冷介质入口通过管路连通，第一再沸器冷介质出口与第一精馏塔进气口通过管路连通，第一再沸器的热介质入口与热源通过管路连通，本实用新型实现了多晶硅生产闭路循环，由此，对还原氯硅烷提纯的精馏节能装置做到热量合理利用，显著节省了能耗，节约了资源，经济效果好。

主权项

1.一种用于还原氯硅烷提纯的精馏节能装置，其特征在于，其包括液相还原氯硅烷储槽、第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔、第一再沸器、第一塔釜泵、第二回流罐、第一回流泵、第二回流泵、第三再沸器、第三冷凝器、第三回流罐、第三回流泵、第三塔釜泵；所述液相还原氯硅烷储槽的出料口与所述第一精馏塔的进料口通过输送泵连通，所述第一精馏塔塔釜出液口与所述第一再沸器的冷介质入口通过管路连通，所述第一再沸器冷介质出口与所述第一精馏塔进气口通过管路连通，所述第一再沸器的热介质入口与热源通过管路连通，所述第一精馏塔塔釜出口与四氯化硅储槽的进料口通过所述第一塔釜泵连通，所述第一精馏塔塔顶的出气口与所述第二精馏塔的进气口通过管路连通，所述第二精馏塔塔釜出液口与所述第一精馏塔的回流口通过所述第一回流泵连通，所述第二精馏塔塔顶出口与所述第三再沸器的热介质入口通过管路连通，所述第三再沸器的热介质出口与所述第二回流罐的入口通过管路连通，所述第二回流罐的出口与所述第二精馏塔的回流口通过所述第二回流泵连通，所述第二回流泵的出料口还与所述第三精馏塔的进料口通过管路连通，所述第三精馏塔塔釜出口与所述第三再沸器的冷介质入口通过管路连通，所述第三再沸器的冷介质出口与所述第三精馏塔的进气口通过管路连通，所述第三精馏塔塔釜出料口与二级三氯氢硅储槽入口通过所述第三塔釜泵连通，所述第三精馏塔塔顶出气口与所述第三冷凝器的进气口通过管路连通，所述第三冷凝器的冷凝液出口与所述第三回流罐的入口通过管路连通，所述第三冷凝器的冷源进口与冷源通过管路连通，所述第三回流罐的出口与所述第三精馏塔的回流口通过所述第三回流泵连通，所述第三回流泵的出料口还与精制三氯氢硅储槽入口通过管路连通。