[实用新型]硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具有效

专利信息
申请号: 201821850963.0 申请日: 2018-11-12
公开(公告)号: CN209367812U 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 沈长丽;杨鹏举;蒋星光 申请(专利权)人: 河南硅烷科技发展股份有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41140 代理人: 李海帆
地址: 461700 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒,内套筒的顶部的前后侧面分别设置有吊耳,吊耳的下部设置有滑柱,内套筒的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔,内套筒的外部套设有外套筒,外套筒从上到下依次设置为上套体、连接杆、下套体和齿状体,上套体的左右侧面固定设置有把手,上套体的前后侧面设置有滑槽孔,滑柱位于滑槽孔内,齿状体的左右侧面分别设置有齿条齿,固定孔内设置有小齿轮,小齿轮包括内杆、齿部和外杆,外杆的前后两侧卡接有旋转环,旋转环的数量是多个;使用时,通过吊具将本实用新型置入夹套内,通过内套筒与外套筒的配合取出断裂的硅棒;本实用新型具有结构精巧、安全无污染的优点。
搜索关键词: 内套筒 本实用新型 上套体 外套筒 电子级多晶硅 硅棒抽取 热分解炉 左右侧面 齿状体 固定孔 硅烷法 滑槽孔 小齿轮 旋转环 吊耳 滑柱 外杆 断裂 侧面设置 从上到下 固定设置 均布设置 依次设置 齿条齿 断裂的 连接杆 下套体 齿部 吊具 硅棒 夹套 卡接 内杆 置入 把手 取出 侧面 生产 外部 配合 安全
【主权项】:
1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒(1),其特征在于:所述内套筒(1)呈管状,所述内套筒(1)的顶部的前后侧面分别设置有吊耳(11),所述吊耳(11)的下部设置有滑柱(12),所述内套筒(1)的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔(101),所述内套筒(1)的外部套设有外套筒(2),所述外套筒(2)从上到下依次设置为上套体(21)、连接杆(22)、下套体(23)和齿状体(24),所述上套体(21)的下部均布设置有多个连接杆(22),所述连接杆(22)的下部设置有下套体(23),所述下套体(23)的下部均布设置有多个齿状体(24),所述上套体(21)的左右侧面固定设置有把手(201),所述上套体(21)的前后侧面设置有滑槽孔(202),所述滑柱(12)位于滑槽孔(202)内,所述齿状体(24)的左右侧面分别设置有齿条齿(2401),所述固定孔(101)内设置有小齿轮(3),所述小齿轮(3)包括内杆(31)、齿部(32)和外杆(33),所述内杆(31)安装在固定孔(101)内并通过销轴进行固定,所述内杆(31)的外侧设置有齿部(32),所述齿部(32)与齿条齿(2401)相配合,所述齿部(32)的外侧设置有外杆(33),所述外杆(33)呈正多边形,所述外杆(33)的前后两侧卡接有旋转环(4),所述旋转环(4)的数量是多个。
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  • 本实用新型涉及一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构,包括底盘冷却夹套、尾气管冷却管夹套、尾气管和隔离封板,所述隔离封板位于尾气管和尾气管冷却管夹套之间,将底盘冷却夹套与尾气管冷却管夹套隔开,所述尾气管冷却管夹套上设有第一进水口、第二进水口和第二出水口,所述第一进水口位于隔离封板的上方,所述第二进水口和第二出水口位于隔离封板的下方,所述底盘冷却夹套上设有第一出水口。本实用新型既可以保证四氟套的使用寿命,拆棒时无需置换低温水,操作方便,又可以回收冷却水余热,达到综合节能降耗效果。
  • 一种78对棒多晶硅还原炉-201920315744.0
  • 张万尧;秦云龙;安亚中;孙中心;周涛;张继春;吴炳珑;冉蔡玲;郭雨;冯小朋;周钰君;张国海 - 天华化工机械及自动化研究设计院有限公司
  • 2019-03-13 - 2019-05-31 - C01B33/035
  • 本新型提供的78对棒多晶硅还原炉,其包括:包括:裙座1、底盘座2、炉体进气管路3、炉体4、夹套5、炉体冷却水出口6、硅芯7、视镜8、炉体冷却水进口9、底盘进气管路10、底盘排气管路11、底盘冷却水出口管12、电极座13、底盘冷却水进口管14组成。气体浓度分布调节管路系统,包括一注入反应气体的炉体进气管路3以及注入反应气体的底盘进气管路10;炉体进气管路3用以使所述反应气体自上而下进入所述反应腔体内;所述底盘进气管路使得所述反应气体自下而上进入所述反应腔体内;在两管路的共同调节下均匀分布在该硅芯7周围,提高了硅棒上部区域的生长速率,与硅棒下部的生长速率相当,保证了硅棒的均匀性,提高了产品质量。
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