[实用新型]一种并联式连续镀膜设备有效
| 申请号： | 201821560758.0 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN208933463U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王晗权;王兴杰;周年生;方辉鹤;张洪波 | 申请（专利权）人： | 百琪达智能科技（宁波）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 宁波浙成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33268 | 代理人： | 洪松 |
| 地址： | 315500 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种并联式连续镀膜设备，包括进料仓、过渡仓和至少两条镀膜室，镀膜室并联连接于进料仓和过渡仓之间，镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构，溅射电源与所述靶材电连接，用以向所述靶材输出溅射功率；进料仓内设置有第一基片架，过渡仓内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。本实用新型具有自动化程度高、钕铁硼磁片不易氧化、工作效率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基片架 钕铁硼磁片 过渡仓 进料仓 靶材 连续镀膜设备 本实用新型 翻转机构 溅射电源 并联式 镀膜室 工作效率高 并联连接 传送机构 溅射功率 电连接 翻转 镀膜 自动化 室内 输出 | ||
【主权项】：
1.一种并联式连续镀膜设备，包括进料仓（1）、过渡仓（2）和至少两条镀膜室（3），其特征在于：镀膜室（3）并联连接于进料仓（1）和过渡仓（2）之间，镀膜室（3）内设置靶材（4）、溅射电源和传送机构，溅射电源与所述靶材（4）电连接，用以向所述靶材（4）输出溅射功率；进料仓（1）内设置有第一基片架，过渡仓（2）内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。
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