[实用新型]流量传感器有效
| 申请号： | 201820381396.2 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN208012682U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 温赛赛;胡慧珊;马硕;王新亮 | 申请（专利权）人： | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F1/688 | 分类号： | G01F1/688 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 215123 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种流量传感器，包括：衬底；加热元件，形成在所述衬底上；至少一个感温元件，形成在所述衬底上，且所述感温元件与所述加热元件之间具有预定的间隔，以通过测量所述感温元件的温度变化获取流经所述流量传感器的流体的流量；亲水层，所述亲水层覆盖整个流量传感器的外表面，以抑制所述流体中的气泡粘附在所述流量传感器的外表面。本实用新型的流量传感器，因设置有亲水层，该亲水层覆盖整个流量传感器的外表面，所设置的亲水层，其对流体中的液体的吸引力很强，这样，会抑制流体中的气泡黏附在流量传感器表面，从而不会让气泡影响流量传感器100对流速的测量，进而可以提高该流量传感器对流体的流量的测量的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 亲水层 流体 感温元件 衬底 本实用新型 加热元件 测量 气泡影响 气泡粘附 准确度 覆盖 黏附 | ||
【主权项】：
1.一种流量传感器，其特征在于，包括：衬底；加热元件，形成在所述衬底上；至少一个感温元件，形成在所述衬底上，且所述感温元件与所述加热元件之间具有预定的间隔，以通过测量所述感温元件或加热元件的温度变化获取流经所述流量传感器的流体的流量；亲水层，所述亲水层覆盖整个流量传感器的外表面，以抑制所述流体中的气泡粘附在所述流量传感器的外表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州原位芯片科技有限责任公司，未经苏州原位芯片科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820381396.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法-201710548160.3
- 王家畴;薛丹;李昕欣 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 2017-07-06 - 2019-08-30 - G01F1/688
- 本发明提供一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法，结构包括：衬底，具有一凹槽，开设于衬底上表面；第一介质膜，覆盖于凹槽上方，与衬底相连接，且与衬底共同围成一个隔热腔体；加热元件，位于第一介质膜表面；至少两个感测元件，位于第一介质膜上，且设置于加热元件两侧，包括至少一组单晶硅‑金属热偶对组，单晶硅‑金属热偶对组包括若干个单晶硅‑金属热偶对。通过上述方案结合本发明的单硅片单面制作技术，在普通单晶硅片上加工出赛贝克系数最高的P型单晶硅‑金热偶对，并将热偶对以及加热元件通过隔热腔体与衬底隔离，最大程度降低了加热电阻的热耗散，提高了传感器的检测灵敏度。此外，本发明传感器尺寸小、成本低、适于大批量生产。
- 热流量计的传感元件的生产方法、传感元件和流量计-201780067589.9
- 斯特凡·加布苏埃尔;亚历山大·格林;汉诺·舒尔特海斯;托比亚斯·波尔;马丁·巴特;阿纳斯塔西奥斯·巴达利斯;拉尔斯·奈尔林;马丁·阿诺尔德;奥利弗·波普 - 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司
- 2017-10-10 - 2019-06-21 - G01F1/688
- 本发明涉及一种用于测量测量管中的介质的质量流量的热流量计的探针(10)的生产方法，所述方法具有如下步骤：将包括钎焊焊料和芯元件的探针芯引入到第一探针套筒中，所述第一探针套筒具有敞开的第一端和远离第一端面向的封闭的第二端；将钎焊焊料熔化；通过将钎焊焊料淬冷到低于固化温度的温度来固定芯元件；将热电偶施加到芯元件或已固化的钎焊焊料的接触表面。本发明还涉及根据生产方法获得的探针并且涉及包括至少一个本发明的探针的流量计。
- 一种基于光纤光栅的热式燃气流量计-201821029253.1
- 吕国辉;王可达;张金玲;车国航 - 黑龙江大学
- 2018-06-29 - 2019-03-15 - G01F1/688
- 本实用新型提出了一种基于光纤光栅的热式燃气流量计，属于燃气流量计技术领域。所述流量计包括光热控制和波长信号解调系统、燃气流量计量管段、光纤光栅燃气流量传感器、光纤光栅燃气温度传感器和光纤光栅压力传感器；所述燃气流量传感器、光纤光栅温度传感器和光纤光栅压力传感器依次固定集成安装在所述燃气流量计量管段上。所述流量计具有耐腐蚀、重量轻、强抗电磁干扰能力等优点。
- 热式流量计-201810884434.0
- 山崎吉夫;松永晋辅;青岛滋 - 阿自倍尔株式会社
- 2018-08-06 - 2019-02-26 - G01F1/688
- 本发明涉及热式流量计，即使作为测定对象的流体的温度发生变化，也能够进行准确的流量测定。通过传感器部(101)，输出以使加热器的温度与不受加热器的热影响的位置处的流体的温度之差成为所设定的设定温度差的方式驱动加热器时的、被加热器加热后的流体中的热扩散状态所对应的传感器值(第1值)。通过校正部(102)，计算出根据流体的温度对传感器部(101)输出的传感器值进行校正而得到的校正传感器值(第2值)并输出。流量计算部(103)根据由校正部(102)校正后的校正传感器值计算出流体的流量。
- 流量传感器-201820381396.2
- 温赛赛;胡慧珊;马硕;王新亮 - 苏州原位芯片科技有限责任公司
- 2018-03-20 - 2018-10-26 - G01F1/688
- 本实用新型公开了一种流量传感器，包括：衬底；加热元件，形成在所述衬底上；至少一个感温元件，形成在所述衬底上，且所述感温元件与所述加热元件之间具有预定的间隔，以通过测量所述感温元件的温度变化获取流经所述流量传感器的流体的流量；亲水层，所述亲水层覆盖整个流量传感器的外表面，以抑制所述流体中的气泡粘附在所述流量传感器的外表面。本实用新型的流量传感器，因设置有亲水层，该亲水层覆盖整个流量传感器的外表面，所设置的亲水层，其对流体中的液体的吸引力很强，这样，会抑制流体中的气泡黏附在流量传感器表面，从而不会让气泡影响流量传感器100对流速的测量，进而可以提高该流量传感器对流体的流量的测量的准确度。
- 一种基于光纤光栅的热式燃气流量计-201810699844.8
- 吕国辉;王可达;张金玲;车国航 - 黑龙江大学
- 2018-06-29 - 2018-08-31 - G01F1/688
- 本发明提出了一种基于光纤光栅的热式燃气流量计，属于燃气流量计技术领域。所述流量计包括光热控制和波长信号解调系统、燃气流量计量管段、光纤光栅燃气流量传感器、光纤光栅燃气温度传感器和光纤光栅压力传感器；所述燃气流量传感器、光纤光栅温度传感器和光纤光栅压力传感器依次固定集成安装在所述燃气流量计量管段上。所述流量计具有耐腐蚀、重量轻、强抗电磁干扰能力等优点。
- 流量传感器-201810232154.1
- 温赛赛;胡慧珊;马硕;王新亮 - 苏州原位芯片科技有限责任公司
- 2018-03-20 - 2018-08-07 - G01F1/688
- 本发明公开了一种流量传感器，包括：衬底；加热元件，形成在所述衬底上；至少一个感温元件，形成在所述衬底上，且所述感温元件与所述加热元件之间具有预定的间隔，以通过测量所述感温元件的温度变化获取流经所述流量传感器的流体的流量；亲水层，所述亲水层覆盖整个流量传感器的外表面，以抑制所述流体中的气泡粘附在所述流量传感器的外表面。本发明的流量传感器，因设置有亲水层，该亲水层覆盖整个流量传感器的外表面，所设置的亲水层，其对流体中的液体的吸引力很强，这样，会抑制流体中的气泡黏附在流量传感器表面，从而不会让气泡影响流量传感器100对流速的测量，进而可以提高该流量传感器对流体的流量的测量的准确度。
- 一种基于热电阻式的流量计-201710699425.X
- 汪洋 - 合肥移顺信息技术有限公司
- 2017-08-15 - 2017-12-08 - G01F1/688
- 本发明提供的基于热电阻式的流量计包括热电阻流量信号采集模块，放大滤波模块，信号转换模块，单片机模块，报警模块，显示模块，峰值控制模块，在使用过程中将热电阻流量信号采集模块放置在流体中用以采集流体模拟信号，然后经过方法滤波模块处理将采集到的流体模拟信息发送至信号转换模块，信号转换模块将流体模拟信号转换成流量数字信号，然后发送给单片机模块处理，处理完成后将实时流量信息通过显示模块显示，当流量信息超过预设流量报警值时，报警模块会通过LED和/或蜂鸣器报警，峰值控制模块可以根据需要设置报警值。这样工作人员能够通过显示模块实时观测到精确的流体流量信息，而且可以根据工作需要设置预警值实现流量的报警功能。
- 用于确定流动介质通过测量路段的体积流量的方法和相关的测量装置-201580029350.3
- C·佐纳;U·哈默施密特 - 代傲表计有限公司;物理技术研究所
- 2015-05-20 - 2017-03-22 - G01F1/688
- 本发明涉及一种用于基本上与气体类型无关地确定流动介质通过测量路段的体积流量的方法，包括以下步骤通过加热元件脉冲式地加热介质；检测在关于加热元件在上游或下游相邻设置的第一温度传感器上出现温度最大值的第一时刻，检测在设置在加热元件下游的第二温度传感器上出现温度最大值的第二时刻，第二温度传感器与第一温度传感器相比与热源隔开更远；求得第一时刻与第二时刻之间的时间差；并且根据所述时间差确定体积流量。
- 微纳升级液体流量计-201620445667.7
- 杨三东;孙元社;马周;李乃杰;唐涛;李彤 - 大连依利特分析仪器有限公司
- 2016-05-17 - 2016-11-30 - G01F1/688
- 本实用新型公开一种集成化程度高，可实时测量微纳升级液体瞬时流量的微纳升级液体流量计，设有流量传感器，流量传感器的输出信号与单片机相接，与单片机还相接有存储单元、编程接口及数据输出接口，其特征在于：所述流量传感器设有直管（1），在直管（1）的中心处设有加热装置（2），在直管（1）的进口设有上游温度传感器（3），在直管（1）的出口设有下游温度传感器（4），所述加热装置（2）、上游温度传感器（3）和下游温度传感器（4）的输出信号与单片机相接。
- 植物茎流传感器-201520802138.3
- 王国杰;李修仓;姜彤;陶辉 - 南京信息工程大学;国家气候中心;中国科学院新疆生态与地理研究所
- 2015-10-13 - 2016-01-20 - G01F1/688
- 本实用新型涉及一种植物茎流传感器，尤其涉及一种抗干扰能力高的植物茎流传感器。本实用新型的植物茎流传感器包括至少一根用于插入植物茎部中的探针和用于对从所述探针得到的信号进行处理的信号处理部，所述探针内设置有加热元件和测温元件，其中，所述加热元件在工作时对所述测温元件进行加热并且在达到预定温度后停止加热，所述测温元件根据所检测到的温度产生电信号；所述信号处理部采集所述测温元件产生的所述电信号并对所述电信号进行处理，使得所述电信号成为预定格式的数字信号。
- 一种石墨烯微型流量传感器-201420197126.8
- 汪学方;龚雄辉;蒋圣伟;徐春林;雷宇晴 - 华中科技大学
- 2014-04-22 - 2014-08-27 - G01F1/688
- 本实用新型公开了一种石墨烯微型流量传感器，属于MEMS器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本实用新型之石墨烯微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有电极。本实用新型的另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上覆盖有绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本实用新型体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量通入气体前后加热体的电阻差值来测定气流流量，有效的解决了现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。
- 一种基于掺杂光纤光栅的光纤流量传感器-201310040905.7
- 董新永;王新淮;周艳;赵春柳 - 中国计量学院
- 2013-01-29 - 2013-06-12 - G01F1/688
- 本发明公开了一种基于掺杂光纤光栅的光纤流量传感器。包括温度补偿段光纤和流量测量段光纤；流量测量段光纤为掺杂光纤，其纤芯中写入了光纤光栅A，温度补偿段光纤为普通单模光纤，其纤芯写入光纤光栅B；利用泵浦激光器泵浦流量测量段光纤，其温度和光纤光栅A的波长随风速变化，而且该段光纤同时可作为宽带光源，这样就简化了传感器的结构。本发明将光纤光栅技术与热线式流量传感技术相结合，实现了温度与流量的同时测量，具有制作简单、体积小、灵敏度高、成本较低等优点。
- 具有废气体积测定功能的会产生废气的设施，尤其是船舶-201080043616.7
- 托马斯·博塞尔曼;赖纳·哈尔蒂希 - 西门子公司
- 2010-09-28 - 2012-07-11 - G01F1/688
- 本发明涉及一种会产生废气的设施(1)，尤其是船舶，包括一废气通道(2)和一装置(10)，所述设施(1)的废气从所述废气通道排放到所述设施(1)的周围环境(18)中，所述装置用于测定一经所述废气通道(2)排放到所述周围环境(18)的废气体积，根据本发明，所述用于测定废气体积的装置(10)包括：多个在所述废气通道(2)末端横向于所述废气的流向(4)分布式布置在规定位置上的布拉格光栅(5)；一光波导结构(6)，所述布拉格光栅(5)形成在所述光波导结构中，其中，所述光波导结构(6)由至少一个光波导(5)构成；一与所述布拉格光栅(5)相邻布置且可为所述布拉格光栅(5)加热的加热装置(8)，或者一与所述布拉格光栅(5)相邻布置且可为所述布拉格光栅(5)制冷的制冷装置，其中，所述光波导结构(6)和所述加热装置(8)或所述制冷装置布置在所述废气通道(2)末端且与所述废气进入所述设施(1)的周围环境(18)时所需经过一出口(12)之间间隔一距离(d)。
- 用于测量流体速度的传感器系统-201080047457.8
- M·克莱;J·R·哈尔曾 - 皇家飞利浦电子股份有限公司
- 2010-10-15 - 2012-07-11 - G01F1/688
- 本发明涉及一种测量流经通道(108)的流体(110)速度的传感器系统(102)，包括用于加热流体的加热元件(104)，其中在工作期间为所述加热元件(104)提供预定水平的功率。传感器系统(102)还包括基本电子电路(114)，其基本谐振频率与温度相关。在这里，由从加热元件(104)向流经通道(108)的流体(110)传递的热决定所述基本电子电路(114)的温度。此外，传感器系统(102)包括配置成产生测量信号(128)的换能器装置(126)，测量信号表示流经通道(108)的流体(110)的速度。在这里，测量信号(108)基于基本谐振频率。
- 废气体积测定装置-201080043626.0
- 托马斯·博塞尔曼 - 西门子公司
- 2010-09-28 - 2012-07-11 - G01F1/688
- 本发明涉及一种用于一静态或移动式设施(特别是一船舶)的废气体积测定装置，包括：多个在所述设施的一废气通道(2)中横向于一废气的流向(4)分布式布置在规定位置上的布拉格光栅(5)；一光波导结构(6)，所述布拉格光栅(5)形成在所述光波导结构中，其中，所述光波导结构(6)由至少一个光波导(7)构成；一与所述布拉格光栅(5)相邻布置且可为所述布拉格光栅(5)加热的加热装置(10)，或者一与所述布拉格光栅(5)相邻布置且可为所述布拉格光栅(5)制冷的制冷装置；至少一个用于将光射入所述光波导结构(6)的光源(22)；以及至少一个信号处理装置(23)，所述信号处理装置根据被所述光波导结构(6)中的布拉格光栅(5)以与其原始传播方向相反的方向反向散射的光测定所述废气沿所述光波导结构(6)分布的一流速并据此推导出穿过所述废气通道(2)的废气体积。
- 注水井剖面热示流量测试装置-201120272417.5
- 韩建;周围;全星慧;张华;赵丽华 - 东北石油大学
- 2011-07-29 - 2012-04-18 - G01F1/688
- 一种注水井剖面热示流量测试装置。主要用来解决现有技术中的测量装置测量范围小、测量精度受流体性质影响较大的问题。其特征在于：空心测试筒内的进口与出口之间依次固定由超级电容控制的加热线圈和1号铂电阻、2号铂电阻；测试装置还包括二个以铂电阻为传感器的温度检测电路以及为所述加热线圈提供驱动的充放电控制及检测电路；二路温度检测电路均由仪表运放AD620芯片和调理放大芯片OP07连接后构成，调理放大芯片OP07的输出端对应连接至所述AVR单片机的温度信号输入端；充放电控制及检测电路的充电控制端和放电控制端分别连接至所述AVR单片机的对应控制信号输出端。本种装置，具有较高的测量精度和较低的测量下限，受流体物性的影响较小。
- 微型流量传感器-201110175617.3
- 汪学方;刘胜;胡畅;王宇哲;徐明海;徐春林 - 华中科技大学
- 2011-06-27 - 2012-03-07 - G01F1/688
- 微型流量传感器，属于MEMS器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本发明之一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层表面覆盖绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量两个加热体间的电阻差值来测定气流流量，有效的解决了现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。
- 循环流化床锅炉灰流量测量装置-201120188342.2
- 朱姗;叶盛;王伟;姚燕强;宋金玲 - 上海锅炉厂有限公司
- 2011-06-07 - 2012-02-01 - G01F1/688
- 本实用新型公开了一种循环流化床锅炉灰流量测量装置，包括测量管、进口段热敏高温热电偶和出口段热敏高温热电偶，其中，所述测量管为螺旋管圈；所述进口段热敏高温热电偶温度量程为0～1200℃；所述出口段热敏高温热电偶温度量程为0～800℃。本实用新型提供的循环流化床锅炉灰流量测量装置，通过采用螺旋管圈为测量管，增加受热面积，从而提高对灰量变化反应的灵敏度，此外，螺旋管圈有助于灰粒运动且阻力小不会造成灰。
- 动态补偿式气体流量计-201120122158.8
- 顾宇;叶寒生 - 合肥科迈捷智能传感技术有限公司
- 2011-04-22 - 2011-11-30 - G01F1/688
- 本实用新型公开了一种动态补偿式气体流量计，其特征是在传感器探头所处的同一测量空间内，共同设置用于提供介质流速信息的热式流量传感器和用于提供水雾浓度相关信息的水雾浓度传感器。本实用新型能够对混入大量水雾的二相流体进行气体流量的准确计量。
- 热线式汽车空调顶置蒸发器在线风量检测装置-200910191842.9
- 杨顺福;田晓虎;杨道才 - 杨顺福
- 2009-12-10 - 2011-06-15 - G01F1/688
- 热线式汽车空调顶置蒸发器在线风量检测装置，属于汽车空调蒸发器的风量检测装置。所要解决的技术问题是提供一种热线式汽车空调蒸发器的风量检测装置。解决其技术问题的技术方案，包含外壳、直流稳压电源、热线式风速计、放大电路、中央处理器及显示器；直流稳压电源给各电路供电；热线式风速计包含壳体及铂合金金属丝热线元件，热线元件装在壳体内，测试气流由进风口进入，经过热线元件由出风口流出，热线元件的端电压作为检测信号输出至放大电路输入端，放大电路输出端与中央处理器的信号输入端连接，中央处理器的输出端与显示器的输入端连接。应用于汽车空调蒸发器在线风量检测。有益效果是，可以在生产线上实时检测风量，手续简便，检测结果准确。
- 低速热流体流量计-201010032420.X
- 孙中宁;阎昌琪;范广铭;范文辉 - 哈尔滨工程大学
- 2010-01-06 - 2010-06-16 - G01F1/688
- 本发明提供的是一种低速热流体流量计。包括沿流体流动方向设置在待测流体管道上的导热单元和流体温度检测单元，所述导热单元和流体温度检测单元水平安装在待测流体流过的管道中，并且导热单元设置在上游，流体温度检测单元设置在下游。本发明结构简单，检修方便，适合高温、高压、大管径、低流速流体的流量测量。本发明没有转动部件，运行可靠，且流动阻力非常小。本发明既可用于高温液体的流量测量，也可以用于高温气体的流量测量。
- 确定流动方向的流动测量装置-200780009303.8
- 托马斯·博塞尔曼;迈克尔·威尔希 - 西门子公司
- 2007-02-01 - 2009-04-08 - G01F1/688
- 本发明涉及一种用于确定流体(22)流动方向的流动测量装置。此流动测量装置包括一个可被流体(22)绕流的测量元件(1)，它有至少一个光波导体(4)和至少两个与所述至少一个光波导体(4)相邻设置的电加热元件(5a、6b)。其中，所述至少一个光波导体(4a、4b)可分别通过一个从加热元件(5a、6b)朝所述至少一个光波导体(4)方向的热流加热，以及，热流的方向至少部分相反。还可以根据流体(22)的流动方向不同程度地影响各热流的量。此外，可按照所述至少一个光波导体(4)的温度，影响可耦合在所述至少一个光波导体(4)内的电磁波。此流动测量装置还有一个控制装置，借助它可向所述至少两个加热元件(5a、6b)先后输入电功率，以及有一个计算装置(23)，借助它可以计算电磁波源自于各热流的温度影响，并可以确定流体(22)的流动方向。此外，本发明涉及一种用按本发明的流动测量装置确定流体(22)流动方向的方法。本发明还涉及一种有一个按本发明的流动测量装置的电机。
- 确定流动方向的流动测量装置-200780009407.9
- 托马斯·博塞尔曼;迈克尔·威尔希 - 西门子公司
- 2007-02-06 - 2009-04-08 - G01F1/688
- 本发明涉及一种用于确定流体(22)流动方向的流动测量装置。此流动测量装置包括一个可被流体(22)绕流的测量元件(1)，它有至少一个光波导体(4)和至少两个与所述至少一个光波导体(4)相邻设置的电加热元件(5a、6b)。其中，所述至少一个光波导体(4)可分别通过一个从各自的加热元件(5a、6b)朝所述至少一个光波导体(4)方向的热流加热，以及，热流的方向至少部分相反。还可以根据流体(22)的流动方向使各热流与流动方向有程度不同的相关性。此外，可按照所述至少一个光波导体(4)的温度，影响可耦合在所述至少一个光波导体(4)内的电磁波。此流动测量装置还有一个控制装置，借助它可向所述至少两个加热元件(5a、6b)时间上先后输入电功率，以及有一个计算装置(23)，借助它可以计算电磁波源自于各热流的温度影响，并可以确定流体(22)的流动方向。此外，本发明涉及一种用按本发明的流动测量装置确定流体(22)流动方向的方法。本发明还涉及一种有一个按本发明的流动测量装置的电机。
- 专利分类
