[发明专利]等离子体处理装置中气体喷淋头的接地连接结构有效
| 申请号： | 201811632020.5 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111383892B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 麦仕义;廉晓芳;魏强;张辉 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴;徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体处理装置中气体喷淋头的接地连接结构，通过连接紧固件，使气体喷淋头、安装基座及两者之间的垫板紧密配合；安装基座的安装孔设置有导电部及弹性元件，导电部形成一内部空间，用以容纳插入安装孔内的连接紧固件的前端，弹性元件的弹力作用于导电部，使导电部与安装基座紧密接触，且导电部与连接紧固件紧密接触。本发明具有防松机制，可以保证器件的安装牢固，并且对使用过程中在连接紧固件附近产生的偏移进行修正。当连接紧固件用于传导电流时，还能有效保证导电部与连接紧固件及安装基座之间紧密接触，保证电流传输路径的稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 气体 喷淋 接地 连接 结构 | ||
【主权项】：
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