[发明专利]供有机蒸气喷射沉积用的印刷杆有效

专利信息
申请号: 201811520612.8 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN110010798B 公开(公告)日: 2023-02-07
发明(设计)人: W·E·奎因;G·麦格劳 申请(专利权)人: 环球展览公司
主分类号: H10K71/13 分类号: H10K71/13;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 李琳
地址: 美国新*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 所公开主题的实施方式提供了一种供有机蒸气喷射OVJP沉积用的印刷杆,其包括多个n个印刷头段,其中所述多个印刷头段各自可以具有OVJP印刷头。所述印刷杆可以包括多个距离传感器,其中所述多个距离传感器各自可以被配置成测量所述印刷杆下方所安置的衬底与至少一个所述印刷头段的一部分之间的距离。所述印刷杆可以包括多个不超过n+1个致动器,其被配置成基于由多个距离传感器中的一或多个所在所述衬底与所述印刷杆之间测量的一或多个距离来调节所述多个印刷头段中的一或多个的位置和定向中的至少一个。
搜索关键词: 有机 蒸气 喷射 沉积 印刷
【主权项】:
1.一种供有机蒸气喷射OVJP沉积用的印刷杆,所述印刷杆包含:多个n个印刷头段,所述多个印刷头段各自包含OVJP印刷头;多个距离传感器,所述多个距离传感器各自经配置以测量所述印刷杆下方所安置的衬底与所述印刷头段中的至少一个的一部分之间的距离;和多个不超过n+1个致动器,其经配置以基于由所述多个距离传感器中的一或多个在所述衬底与所述印刷杆之间测量的一或多个距离来调节所述多个印刷头段中的一或多个的位置和或定向中的至少一个。
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