[发明专利]长条基板的处理装置和处理方法

摘要

本发明涉及在实施了热负荷的长条基板上不易产生褶皱、划痕等的长条基板的处理装置和处理方法。在将从放卷室(110)供给的长条基板(114)卷绕在成膜室(112)的筒辊(131)来实施溅射等的装置中，在筒辊的薄膜送入侧设置两组张力控制辊组(第一张力测量辊130和第一电机驱动辊129、以及第二张力测量辊127和第二电机驱动辊125)，在送出侧也设有两组张力控制辊组(第一张力测量辊132和第一电机驱动辊133、以及第二张力测量辊135和第二电机驱动辊137)，筒辊的送入进料张力和送出进料张力由上述两组张力控制辊组进行双级控制，因此能够使薄膜的张力控制准确，从而避免薄膜褶皱和划痕的产生。

主权项

1.一种长条基板的处理装置，具有：放卷区，对卷绕于放卷辊的长条基板进行放卷；处理区，在真空腔室内对从放卷区供给的长条基板实施施加热负荷的处理；以及收卷区，将处理后的长条基板收卷于收卷辊，所述处理区具备：筒辊，由电机驱动，使以辊对辊的方式输送的长条基板卷绕于所述筒辊的外周面并对所述长条基板进行冷却；送入侧张力控制辊组和送出侧张力控制辊组，所述送入侧张力控制辊组设置于所述筒辊的长条基板的送入侧，所述送出侧张力控制辊组设置于该筒辊的长条基板的送出侧；以及施加热负荷的处理机构，设置于与所述筒辊的外周面对置的位置，所述筒辊在周向上隔开大致均等的间隔且遍及整周地配置有多个气体导入通道，所述多个气体导入通道中的每一个具有沿着筒辊的旋转轴方向隔开大致均等的间隔而向外周面侧开口的多个气体释放孔，所述长条基板的处理装置具备旋转接头，该旋转接头向位于所述筒辊的外周面的卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通道供给来自真空腔室外部的气体，不向未位于卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通道供给来自真空腔室外部的气体，所述长条基板的处理装置的特征在于，所述送入侧张力控制辊组由分别设置于处理区的送入侧第一张力控制辊组和送入侧第二张力控制辊组构成；所述送入侧第一张力控制辊组由送入侧第一张力测量辊和送入侧第一电机驱动辊构成，所述送入侧第一张力测量辊配置在筒辊的送入侧附近，所述送入侧第一电机驱动辊基于由该送入侧第一张力测量辊测量的长条基板的张力来控制圆周速度；而且，所述送入侧第二张力控制辊组由送入侧第二张力测量辊和送入侧第二电机驱动辊构成，所述送入侧第二张力测量辊配置在所述送入侧第一电机驱动辊侧，所述送入侧第二电机驱动辊基于由该送入侧第二张力测量辊测量的长条基板的张力来控制圆周速度，所述送出侧张力控制辊组由分别设置于处理区的送出侧第一张力控制辊组和送出侧第二张力控制辊组构成；所述送出侧第一张力控制辊组由送出侧第一张力测量辊和送出侧第一电机驱动辊构成，所述送出侧第一张力测量辊配置在筒辊的送出侧附近，所述送出侧第一电机驱动辊基于由该送出侧第一张力测量辊测量的长条基板的张力来控制圆周速度；所述送出侧第二张力控制辊组由送出侧第二张力测量辊和送出侧第二电机驱动辊构成，所述送出侧第二张力测量辊配置在所述送出侧第一电机驱动辊侧，所述送出侧第二电机驱动辊基于由该送出侧第二张力测量辊测量的长条基板的张力来控制圆周速度，送入到所述筒辊的长条基板的在送入方向的张力通过基于筒辊和所述送入侧第一电机驱动辊之间的圆周速度之差而设定的送入进料张力Tu1、与基于送入侧第一电机驱动辊和所述送入侧第二电机驱动辊之间的圆周速度之差而设定的送入进料张力Tu2的双级控制来调整，其中Tu1>Tu2，并且，从所述筒辊送出的长条基板的在送出方向的张力通过基于所述送出侧第一电机驱动辊和筒辊之间的圆周速度之差而设定的送出进料张力Td1、与基于所述送出侧第二电机驱动辊和送出侧第一电机驱动辊之间的圆周速度之差而设定的送出进料张力Td2的双级控制来调整，其中Td1>Td2。