[发明专利]基于面外磁各向异性层的自旋霍尔纳米振荡器及制备方法有效
| 申请号： | 201811298649.0 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109437087B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 金立川;贾侃成;张岱南;钟智勇;杨青慧;张怀武;李颉;唐晓莉 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14;H03B15/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于面外磁各向异性层的自旋霍尔纳米振荡器，属于微波电子设备技术领域。所述纳米振荡器包括基片，以及依次形成于基片之上的面外磁各向异性的磁性薄膜层和非磁性重金属薄膜层。本发明提供的一种基于面外磁各向异性层的自旋霍尔纳米振荡器中，磁性薄膜层具有面外磁各向异性，相比于传统的基于面内磁各向异性的磁性材料，在相同的驱动电流密度下，面外磁各向异性磁性材料能够获得更大的磁矩进动角和微波输出功率；同时，通过调节电流强度可实现不同功率的高频微波输出，输出微波信号性能良好，且结构简单，功耗低，与CMOS工艺相兼容，易于集成。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 面外磁 各向异性 自旋 霍尔 纳米 振荡器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于面外磁各向异性层的自旋霍尔纳米振荡器，其特征在于，所述纳米振荡器包括基片，以及依次形成于基片之上的面外磁各向异性的磁性薄膜层和非磁性重金属薄膜层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811298649.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种作为二次敏感结构的高Q值谐振梁结构
- 下一篇：芯片的封装结构以及封装方法
- 同类专利
- 一种器件以及电子设备-202210344948.3
- 李明;朱怀远;赵飞;徐景辉 - 华为技术有限公司
- 2022-03-31 - 2023-10-24 - B81B3/00
- 本发明实施例公开了一种器件以及电子设备，用于避免器件所固定的导线受到过大的应力，降低导线的蠕变速率，进而提升器件结构的稳定性以及可靠性。本发明实施例所提供的器件包括：可动部件以及悬臂梁，所述悬臂梁与所述可动部件连接；所述悬臂梁的横截面具有第一长度和第二长度，所述第一长度大于所述第二长度；所述可动部件与导线连接，所述导线位于所述悬臂梁具有所述第二长度的端部，所述导线用于与所述可动部件之间传输第一电信号，所述悬臂梁扭转的情况下，所述端部的应力小于所述悬臂梁具有所述第一长度的侧壁的应力。
- 摆动体的摆动的幅度检测、幅度调节和方向检测-201910630120.2
- C·斯坦纳;S·G·阿尔伯特;F·M·达勒;M·E·亨内克;T·图尔纳;H·范利罗普 - 英飞凌科技股份有限公司
- 2019-07-12 - 2023-10-13 - B81B3/00
- 本发明涉及一种用于检测和/或调节摆动体围绕摆动轴线的摆动幅度的设备、用于检测摆动体在围绕摆动轴线摆动期间的运动方向的设备、一种MEMS设备和相应方法，其中摆动体摆动时发生在摆动体的至少一个电极与一个固定电极之间的电容的电容变化，设备具有：检测电路，用于检测表示电容变化量度的信号。此外，存在评估电路用于从信号确定信息，该信息是用于信号中的预定事件距通过摆动的基准位置的时间点的时间间隔的量度，该预定事件对应于摆动体的角位置，其中评估电路被设计为从所确定的信息和摆动体的摆动的所测定的周期计算摆动体的摆动幅度，和/或在使用所确定的信息和所测定的摆动体摆动周期的情况下调节摆动体的摆动幅度。
- 一种硅基网状石墨烯MEMS传感器及其制备方法-201911265551.X
- 秦亚飞;王冬;杨友朋 - 昆明理工大学
- 2019-12-11 - 2023-09-29 - B81B3/00
- 本发明公开了一种硅基网状石墨烯MEMS传感器及其制备方法，本发明采用石墨烯作为敏感材料，选择石墨烯材料并采用成熟的MEMS工艺研制具有高灵敏度、宽频带和响应速度快的传感器力学敏感单元，该敏感芯片尺寸小、质量轻、集成度高和便于安装；既解决了传感器灵敏度和刚度之间的矛盾，又满足了应力直接测量的需求，同时符合兼容性和互换性要求；同时以硅作为基底，采用微纳制造与集成封装技术研制了硅基网状石墨烯MEMS传感器芯片，能极大地提高传感器的灵敏系数，实现了更加直接和准确测量应力应变的目的。
- 一种磁振子耦合共振型微纳称重器件与其制备方法-202111359184.7
- 金立川;宋祥林;吴雪蕊;徐嘉鹏;张怀武;钟智勇 - 电子科技大学
- 2021-11-17 - 2023-09-26 - B81B3/00
- 本发明提供一种磁振子耦合共振型微纳称重器件与其制备方法，属于微纳电子功能器件技术领域，器件包括单晶衬底及位于单晶衬底上的短路共面波导和谐振器，谐振器位于短路共面波导的中心带与接地带之间；谐振器包括上层的压磁薄膜和下层的磁性薄膜，磁性薄膜的磁阻尼系数低于10
- 一种超声传感器结构及其制造方法-202010112451.X
- 康晓旭 - 上海集成电路研发中心有限公司
- 2020-02-24 - 2023-09-26 - B81B3/00
- 本发明公开了一种超声传感器结构，设于上下键合在一起的第一衬底和第二衬底上，第一衬底正面上依次设有介质层、金属层和上电极，金属层与上电极之间通过第一空腔相隔离，金属层和介质层的叠层形成振动膜；第一衬底背面上设有底部连接介质层的第二空腔；第二衬底正面上设有下电极，下电极位于第二空腔中，并通过分设于第二衬底和第一衬底中的通孔连接上电极。本发明能够显著增大振动膜的振动幅度，进一步增强超声传感器的性能。本发明还公开了一种超声传感器结构制造方法。
- 具有覆盖驱动的MEMS及其操作方法-202080108389.5
- 塞尔久·兰佳;伯特·凯瑟;安东·梅尔尼科夫;乔治·马里奥·蒙萨尔维·古亚拉曹 - 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- 2020-12-03 - 2023-09-22 - B81B3/00
- 一种MEMS装置包括层堆栈，该层堆栈具有沿着层堆栈方向布置之多个MEMS层。该MEMS装置包括可移动组件，该可移动组件形成于第一MEMS层中且布置于该层堆栈之第二MEMS层与第三MEMS层之间。进一步提供驱动单元，其包含以机械方式固定连接至该可移动组件之第一驱动结构及以机械方式固定连接至该第二MEMS层之第二驱动结构。驱动单元被配置为在可移动部件上产生垂直于该层堆栈方向之驱动力，且该驱动力被配置为使该可移动部件偏转。
- 微流体致动器的制造方法-201811405745.0
- 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭 - 研能科技股份有限公司
- 2018-11-23 - 2023-09-05 - B81B3/00
- 一种微流体致动器的制造方法，包含步骤：1.提供一基板，并沉积一氧化材料于基板上，形成一腔体层；2.沉积一氮化材料于腔体层，以形成一振动层；3.沉积一金属材料及一压电材料于振动层上，并蚀刻形成一致动层；4.蚀刻基板，以形成多个流道；5.沉积氧化材料于基板，以形成一遮罩层，并蚀刻基板，以形成多个连接流道；6.蚀刻腔体层，以形成一储流腔室；7.提供一孔板层，并蚀刻形成多个流道口；8.以滚压干膜及光刻制程于孔板层制出一流道层及多个通道；以及9.以覆晶对位及热压接合基板与流道层，以构成微流体致动器整体结构。
- 电子装置-202210162107.0
- 吴湲琳;黄昱嘉 - 群创光电股份有限公司
- 2022-02-22 - 2023-09-01 - B81B3/00
- 本发明提供了一种电子装置，其包括一覆盖层以及一可拉伸感测单元。覆盖层具有一曲面，曲面具有一第一区域，第一区域具有一第一高斯曲率，而第一高斯曲率不等于0。可拉伸感测单元贴附到覆盖层，其中可拉伸感测单元包括一可拉伸基板和一第一感测元件，设置在可拉伸基板上。第一感测元件设置在曲面的第一区域与可拉伸基板之间。
- 微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法-201910374953.7
- D·迈因霍尔德;S·比塞尔特;E·兰德格拉夫 - 英飞凌科技德累斯顿公司
- 2019-05-07 - 2023-09-01 - B81B3/00
- 本文公开了微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法。一种微电子机械传感器，包括：第一衬底(202)，包括相对于第一衬底(202)可移动的元件(210)；以及第二衬底(204)，包括第一接触垫(206；506)和第二接触垫(208；508)。第一衬底(202)被接合到第二衬底(204)，使得元件(210)的移动改变第一接触垫(206；506)与第二接触垫(208；508)之间的耦合。
- 一种MEMS增强质量块惯性器件及其制备方法-202110760047.8
- 刘杨;王雪峰;王敏锐;张广平 - 美满芯盛（杭州）微电子有限公司
- 2021-07-05 - 2023-08-29 - B81B3/00
- 本发明公开了一种MEMS增强质量块惯性器件，属于一种惯性器件，包括第一晶圆、第二晶圆和第三晶圆，所述第二晶圆和所述第三晶圆分别键合在所述第一晶圆的上下两面上；所述第一晶圆，其从上往下分别包括第一体硅、埋氧层和第二体硅；本发明通过采用3片晶圆键合方案，采用SOI晶圆作为中间层材料，正面和背面均采用深硅刻蚀形成可动微机械结构层，通过微结构定义，可以增加器件质量块厚度，再选用体硅晶圆，利用硅通孔工艺技术与键合工艺技术，实现与微机械结构的电学连接，最后在器件底部键合一层体硅晶圆，形成晶圆级封装，保持器件内部真空度，保证器件运行稳定性，具有灵敏度高、机械热噪声小的特点。
- 一种适用于流体界面上微小物体组装和重构的方法及其应用-202011252868.2
- 吕久安;胡志明 - 西湖大学
- 2020-11-11 - 2023-08-22 - B81B3/00
- 本发明提供一种适用于流体界面上微小物体组装和重构的方法及其应用，利用微小物体在液面上的光致形状变化使执行器周边液体界面产生形变，利用液体界面形变诱导产生的毛细作用力来调控多个执行器相互之间吸引或排斥力，从而实现微小物体的程序化组装和重构，不仅可以在气液界面上进行图案化的组装和重构，还可实现在多层液体界面上进行独立组装和重构，甚至可以实现在多层液体界面上进行三维协同组装。这种全新的方法在微机械系统、生物医学设备和超材料等领域具有可观的潜在应用价值。
- 包括体积减少的压电致动器的MEMS设备-201710972205.X
- D·朱斯蒂 - 意法半导体股份有限公司
- 2017-10-18 - 2023-08-22 - B81B3/00
- 所描述的是一种包括压电致动器的MEMS设备，其包括压电材料制成的膜。该膜被多个孔贯穿。
- MEMS桥梁柱结构及形成方法-201911125309.2
- 刘善善;朱黎敏 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 2019-11-18 - 2023-08-22 - B81B3/00
- 本发明公开了一种MEMS桥梁柱结构及形成方法，所述结构采用多层薄膜复合结构，主要包括第一氧化硅层、第二氧化硅层、第三氧化硅层、非晶硅层、钛/氮化钛层以及ONO层；所述的衬底中包含有电连接层。本发明所述的MEMS桥梁柱结构及形成方法，通过将不同的模层结构组合，得到一种适用于MEMS产品中桥梁柱的结构应用，可以有效的支撑整个悬空MEMS结构，降低梁柱倒塌风险，同时不影响桥梁柱的导通性能。
- 在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧-202310644600.0
- 张谦;杨光隆;顾磊 - 美国亚德诺半导体公司
- 2017-09-27 - 2023-08-18 - B81B3/00
- 本发明涉及在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧。描述了微机电系统(MEMS)装置，包括：质量块，通过设置在质量块的相对侧上的折叠弹簧可移动地连接到基板，其中耦合器将折叠弹簧中的两个耦合在一起。在一些实施方式中，耦合器是棒并且可以是刚性的。因此，耦合器限制折叠弹簧相对于彼此的运动。按照这种方式，质量块的运动可能被限制在优选的类型和频率上。
- 一种多刺激响应致动薄膜及其制备和应用-202010101016.7
- 李耀刚;张令坤;王宏志;张青红;侯成义 - 东华大学
- 2020-02-19 - 2023-08-18 - B81B3/00
- 本发明涉及一种多刺激响应致动薄膜及其制备和应用，所述薄膜包括碳纳米管‑壳聚糖薄膜层和微孔滤膜层。本发明的制备方法简单快速，可规模化生产，所制得的碳纳米管‑壳聚糖/醋酸纤维滤纸薄膜可以在通电、水汽、红外光条件下具有迅速、显著、稳定的变形能力，在柔性开关、人造肌肉、软体机器人、环境监测等领域具有重要应用价值。
- 一种MEMS器件结构-201710386132.6
- 邹波;王辉 - 深迪半导体（绍兴）有限公司
- 2017-05-26 - 2023-08-18 - B81B3/00
- 本发明提供了一种MEMS器件结构，包括可动结构、不可动结构、锚点和至少一个限位块；所述可动结构用于在接收到任一方向输入的外部作用力或由自身惯性产生的惯性力后，产生与所述外部作用力和或所述惯性力方向相对的应且相对于所述不可动结构的移动；所述至少一个限位块用于在所述可动结构朝向所述不可动结构移动时，向所述可动结构提供一扭转作用力，使得所述可动结构产生背离所述不可动结构的扭转运动，所述扭转运动使所述可动结构产生扭转变形，以降低可动结构与不可动结构之间的吸附概率，避免可动结构与不可动结构之间吸附现象的发生。
- 振动发电元件及其制造方法-202180080733.9
- 下村典子;芦泽久幸 - 株式会社鹭宫制作所
- 2021-11-01 - 2023-08-15 - B81B3/00
- 本发明涉及一种振动发电元件，其具备：固定电极，其固定于基座部；可动电极，其能够相对于所述固定电极移动；以及弹性支承部，其一端固定于所述基座部，并且另一端固定于所述可动电极，且弹性地支承所述可动电极，其中，所述弹性支承部包括：多个弹性结构体，其分别具有连结部、一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述可动电极且在与所述可动电极振动的第一方向正交的第二方向上延伸的第一弹性部、以及一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述基座部且在所述第二方向上延伸的第二弹性部，且分别配置于所述可动电极的所述第一方向的两侧；以及连接部件，其将所述多个弹性结构体所包含的所述连结部相互连接。
- 发电元件以及发电装置-202180082281.8
- 下村典子;芦泽久幸 - 株式会社鹭宫制作所
- 2021-10-07 - 2023-08-15 - B81B3/00
- 提供一种能够高效地发电的发电元件。发电元件是通过振动进行发电的发电元件，具有：第一电极和第二电极；部件，其设置于所述第一电极及所述第二电极之间，具有与所述第二电极电连接且与所述第一电极对置的第三电极、不与所述第三电极电连接而相对地固定于所述第三电极且与所述第一电极电连接并与所述第二电极对置的第四电极；以及驻极体，其设置于所述第一电极和所述第三电极中的一个以及所述第二电极和所述第四电极中的一个。
- 具有方向性微结构的材料-201780001590.1
- M·霍塞克;J·克里什纳萨梅 - 柿子技术公司
- 2017-04-11 - 2023-08-11 - B81B3/00
- 一种材料包括多个畴的至少一个层，每个畴在第一方向上是扁平的，并且在垂直于第一方向的第二方向上是细长的。扁平且细长的畴限定了有助于第二方向上的磁通量流的各向异性微结构。
- 混合超声换能器系统-202210977196.4
- 林璟晖;张仪贤;郑创仁;黄富骏;蔡易恒;黄士芬;朱昭宏;叶柏辰 - 台湾积体电路制造股份有限公司
- 2022-08-15 - 2023-08-08 - B81B3/00
- 本公开涉及混合超声换能器系统。本公开涉及一种集成芯片结构。该集成芯片结构包括设置在衬底上的电介质堆叠。集成芯片结构还包括一个或多个压电式微机械超声换能器(PMUT)和一个或多个电容式微机械超声换能器(CMUT)。一个或多个PMUT包括设置在所述电介质堆叠内、位于一个或多个PMUT腔之上的压电堆叠。一个或多个CMUT包括设置在所述电介质堆叠内并由一个或多个CMUT腔分隔开的电极。隔离室被布置在所述电介质堆叠内、横向位于所述一个或多个PMUT和所述一个或多个CMUT之间。所述隔离室在竖直方向上延伸经过所述一个或多个PMUT和所述一个或多个CMUT两者的至少一部分。
- 振动发电元件及其制造方法-202180080787.5
- 下村典子;芦泽久幸 - 株式会社鹭宫制作所
- 2021-10-13 - 2023-08-04 - B81B3/00
- 能够防止大的力作用于MEMS振动发电元件的弹性支承部。振动发电元件具备：固定电极，其固定在基座部；可动电极，其能够相对于所述固定电极移动；弹性支承部，其一端与所述基座部连接，并且另一端与所述可动电极连接，弹性支承所述可动电极；以及第一部件和第二部件中的至少一方，所述第一部件固定在所述可动电极，并在与所述可动电极进行振动的振动平面正交的方向上与所述基座部或固定在所述基座部的部件分离地相对，所述第二部件固定在所述基座部，并在与所述振动平面正交的方向上与所述可动电极或固定在所述可动电极的部件分离地相对。
- 用于扫描仪技术领域的带振镜的偏转设备-202080107123.9
- 弗兰克·森格;乌尔里希·霍夫曼;斯蒂芬·马劳斯卡;克里斯蒂安·贾尼克;托马斯·冯·万托克;约尔格·阿尔贝斯;贡纳·威尔;曹勇 - 华为技术有限公司;德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- 2020-11-12 - 2023-08-04 - B81B3/00
- 本发明提供了一种用于扫描仪的偏转设备(100、200、300、400)。所述偏转设备(100、200、300、400)包括衬底(102、202)、振镜(106、206、304、404)和致动器装置(110)。所述振镜(106、206、304、404)通过连接器装置(108)布置在所述衬底(102、202)中的所述凹槽(104、204、306、406)中，以这样的方式，所述振镜可以以振荡的方式绕至少两个轴旋转。所述致动器装置(110)使所述振镜(106、206、304、404)振荡。所述致动器装置(110)布置在围绕所述凹槽(104、204、306、406)的所述衬底(102、202)中的一个或多个所述沟槽(112A至D)中，使得所述致动器装置(110)的形状的变化引起所述衬底(102、202)中的运动，从而引起所述振镜(106、206、304、404)的振荡运动。
- 换能器-202180081004.5
- 铃木达也;藤森敬和;下地规之 - 罗姆股份有限公司
- 2021-10-27 - 2023-08-04 - B81B3/00
- 本发明提供一种换能器(10A)，包括含有硅的基板(20)、配置在基板(20)上的压电元件(30)。基板(20)包括：膜体部(21)，其具有在厚度方向上相互面向相反方向的第一面(21a)和第二面(21b)；和从厚度方向看膜体部(21)时包围膜体部(21)的框体部(22)。压电元件(30)配置在膜体部(21)的第一面(21a)上。从厚度方向看时的膜体部(21)的外边缘(21c)的一部分形成与框体部(22)连接的连接部(21d)，连接部(21d)以外的外边缘(21c)的其余部分与框体部(22)分离。基板(20)具有从第二面(21b)之中的包含外边缘(21c)的其余部分的至少一部分的区域向厚度方向突出的突出部(24)。
- 一种高过载水平的微波功率传感器及其控制方法-202310385914.3
- 朱越;金叶;王德波 - 南京邮电大学
- 2023-04-12 - 2023-07-25 - B81B3/00
- 本发明公开了一种高过载水平的微波功率传感器及其控制方法。该传感器由衬底、共面波导传输线、悬臂梁、预设锚点和电容极板组成。预设锚点设置在悬臂梁固定锚点与共面波导传输线之间，电容极板被安置于悬臂梁的下方，与预设锚点分列共面波导传输线两侧，有一个输出端与电容极板相连用于检测电容。当微波信号进入的时候会引起电容的变化，通过测量变化值即可间接得到微波信号的功率。此传感器采用长度可变悬臂梁结构，克服了传统悬臂梁结构为了提高灵敏度导致过载功率过小的问题，不仅极大地提高了传感器的过载功率，扩展了传感器的量程，并且由于增加了锚点，还能在一定程度上保护悬臂梁避免因输入功率过大导致结构坍塌。
- 一种多频CMUT器件的制造方法及多频CMUT器件-202010431407.5
- 王久江;余远昱;旷江明;徐晶;杨济宁;张双;李尧;刘益和 - 内江师范学院;四川博康达智能电子系统有限公司
- 2020-05-20 - 2023-07-21 - B81B3/00
- 本申请提供一种多频CMUT器件的制造方法及多频CMUT器件，包括选用高浓度掺杂的硅晶圆作为基底制作硅基层；在所述硅基层的上表面设置绝缘层；在所述绝缘层的上表面沉积非晶硅制备牺牲层并定义CMUT单元；所述牺牲层包括圆形主体和与所述圆形主体连接的多个释放通道；在所述CMUT单元上沉积振动薄膜；在各个所述释放通道的开孔位置开设腐蚀孔，对牺牲层进行释放，形成空腔；在所述牺牲层释放完毕后密封所述腐蚀孔；利用光刻蚀工艺围绕所述圆形主体形成的空腔刻蚀预设宽度的支撑壁；深腐蚀操作至硅基层，以便沉积底电极；沉积电极及器件之间的连接导线，同时在所述振动薄膜的上表面沉积顶电极。
- 一种MEMS器件及其防吸附方法-201710368321.0
- 邹波;罗皓 - 深迪半导体（绍兴）有限公司
- 2017-05-23 - 2023-07-21 - B81B3/00
- 本发明提供了一种MEMS器件及其防吸附方法，包括可动结构、不可动结构和振荡器；所述可动结构包括可动质量块和固定在所述可动质量块上的可动梳齿；所述不可动结构包括不可动基底以及固定在所述不可动基底上的至少两个固定梳齿；所述振荡器用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号，以使所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿之间产生静电吸力，使发生吸附的所述固定梳齿和所述可动梳齿分开，从而解决了由于可动梳齿与固定梳齿吸附而影响MEMS器件正常运行的问题。
- MEMS器件和用于MEMS器件的制造方法-201810805984.9
- M·菲尔德纳;S·巴曾;A·德厄;G·洛伦茨 - 英飞凌科技股份有限公司
- 2018-07-20 - 2023-07-21 - B81B3/00
- 根据一个实施例，用于双膜MEMS器件300的制造方法100包括以下步骤：在载体衬底210上提供120层布置200，其中层布置200具有彼此间隔的第一膜结构220和第二膜结构230以及布置在其间的反电极结构240，其中在反电极结构240与分别与该反电极结构间隔的第一膜结构和第二膜结构之间的中间区域260中布置有牺牲材料250，并且其中第一膜结构220具有朝向具有牺牲材料250的中间区域260的开口结构270；从中间区域部分去除140牺牲材料250，以获得在第一膜结构和第二膜结构之间的具有牺牲材料250的机械连接结构280，机械连接结构机械耦合到第一膜结构和第二膜结构之间并且与反电极结构机械解耦。
- 纳米机器人与纳米机器人运动控制系统-201811556471.5
- 孙一绮;杨志 - 湖南早晨纳米机器人有限公司
- 2018-12-19 - 2023-07-14 - B81B3/00
- 本申请公开了一种纳米机器人，包括用于吸收微波并将微波转化为热能的发热体以及包围于发热体外周的壳体，壳体设置有连通发热体与壳体外部的热传递孔，发热体或壳体中掺杂有铁磁性材料。该纳米机器人结构可以通过发热体吸收微波并将微波转化为热能，热传递孔将热能排出壳体的同时产生推动力，从而驱动纳米机器人运动；发热体中或壳体中掺杂有铁磁性材料，从而可以在磁场环境中感应磁场作用力，以实现纳米机器人的导航定位；通过控制发热体的微波吸收量的控制可以调节纳米机器人的移动速度。可见，该纳米机器人可以在微波和磁场环境中实现运动、导航和速度控制，便于操作，提高了纳米机器人的实用性。本申请还公开了一种纳米机器人运动控制系统。
- 压力传感器及其制造方法-201711113454.X
- 吕萍;李刚;胡维 - 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
- 2017-11-13 - 2023-07-14 - B81B3/00
- 本发明涉及一种压力传感器及其制造方法，所述压力传感器包括：衬底；收容腔，位于所述衬底内，包括底壁和侧壁；感应本体，悬浮于所述收容腔内，所述感应本体与所述收容腔侧壁之间具有深槽，所述感应本体与收容腔底壁之间具有与所述深槽连通的第一腔体，且所述感应本体与收容腔侧壁之间通过位于所述深槽内的悬梁固定连接；所述感应本体包括：半导体层、位于所述半导体层表面的介质层、贯穿所述介质层至半导体层内的密闭的第二腔体、覆盖所述介质层和第二腔体的器件层，所述器件层表面具有压阻条。上述压力传感器具有应力释放结构，可靠性高。
- 烘箱控制MEMS振荡器-201780032549.0
- 维莱·卡亚卡里 - 株式会社村田制作所
- 2017-01-25 - 2023-07-11 - B81B3/00
- 一种烘箱控制MEMS定时设备，包括非常小的可以用非常低的功率非常快速地加热的振荡器。MEMS设备包括矩形框架、位于框架中的加热平台以及从矩形框架延伸并将平台保持在框架的腔内以热隔离平台的一对支撑梁。此外，设备包括通过一对锚梁附接至平台的谐振器、对平台进行加热以维持谐振器的目标温度的加热器以及测量平台的温度以为加热器提供控制回路的热敏电阻。
- 专利分类
