[发明专利]基板对准装置、基板处理装置和基板处理方法

摘要

公开了一种基板对准装置、基板处理装置和使用基板对准装置的基板处理方法。基板对准装置和基板处理装置包括支承板和连接至支承板以对转基板的位置的多个引导单元。各引导单元包括用于将基板对准到适当位置的对准销和具有用于支承对准的基板的边缘区域支承表面的固定体，固定部固定地连接至支承板。对准销相对于固定部的支承表面绕对准销的中心轴线为可旋转的，从而快速地对准基板，并因此防止了通过传送机械手在多个处理腔室之间传送的基板脱离或对其他装置具有负面影响。

主权项

1.一种用于对准基板的装置，所述装置包括：支承板；和多个引导单元，其连接至所述支承板并配置为对准所述基板的位置，其中，各所述引导单元包括：对准销，其配置为将所述基板对准到适当位置；和固定体，其具有配置为支承对准的所述基板的边缘区域的支承表面，所述固定部固定地连接至所述支承板，和其中，所述对准销相对于所述固定部的所述支承表面围绕所述对准销的中心轴线为可旋转的。