[发明专利]反应腔及化学气相沉积装置

摘要

本发明提供了一种反应腔及化学气相沉积装置，反应腔包括腔本体和输送盲管，腔本体内具有腔室，腔本体上设置有连通腔室的进气口，输送盲管的开口端与进气口连接，输送盲管的封闭端延伸至腔室内，输送盲管上设置有若干贯穿输送盲管的管壁的分流嘴，分流嘴内设置有连通输送盲管与腔室的排气孔道，分流嘴沿输送盲管的轴向间隔分布，且分流嘴的横截面大小沿封闭端至开口端的方向逐渐增大。本技术方案，在输送盲管上的多个分流嘴使得腔室内的气体均匀分布，保证各处的样品的沉积厚度的均匀性。另外，分流嘴的横截面大小沿封闭端至开口端的方向逐渐增大，使得更多的反应气体先与样品发生化学反应，提高了反应气体的利用率和沉积效率。

主权项

1.一种反应腔，其特征在于，所述反应腔包括腔本体和输送盲管，所述腔本体内具有腔室，所述腔本体的顶部设置有连通所述腔室的进气口，所述输送盲管的开口端与所述进气口连接，所述输送盲管的封闭端延伸至所述腔室内，所述输送盲管上设置有若干个贯穿所述输送盲管的管壁的分流嘴，所述分流嘴内设置有连通所述输送盲管与所述腔室的排气孔道，所述分流嘴沿所述输送盲管的轴向间隔分布，且所述分流嘴的横截面大小沿所述封闭端至所述开口端的方向逐渐增大。