[实用新型]反应腔顶及CVD反应腔

摘要

本实用新型提供一种反应腔顶及CVD反应腔，其中，反应腔顶包括：反应腔顶主体、第一黄铜管、第二黄铜管、主体固定件、筒夹、外圈固定件、以及盖体，所述第一黄铜管位于反应腔顶主体顶部，所述第一黄铜管直径大于所述第二黄铜管直径。冷却水进入到第一黄铜管和第二黄铜管内中和射频产生的热量，反应腔顶主体的顶部在同一时间段内冷却水的流量比反应腔顶主体的其他部位大，使得反应腔顶主体温度平衡，反应腔顶主体内表面的薄膜厚度一致，可以避免反应腔顶主体顶部内表面被过量轰击，从而降低晶圆的报废率；反应腔顶开启之后再次盖回反应腔体时，将反应腔顶主体底部的固定块放置于反应腔体的卡槽中，保证反应腔体内的晶圆厚度均匀，节约成本。

主权项

一种反应腔顶，其特征在于，包括： 反应腔顶主体，所述反应腔顶主体的底部设置有多个固定块； 所述反应腔顶主体包裹的黄铜管，所述黄铜管包括第一黄铜管和与所述第一黄铜管连接的第二黄铜管，所述第一黄铜管位于所述反应腔顶主体的顶部，所述第一黄铜管的直径大于所述第二黄铜管的直径； 与所述反应腔顶主体连接的主体固定件； 套于所述主体固定件上的筒夹； 固定所述筒夹的外圈固定件；及 与所述筒夹连接的盖体。