[发明专利]涡电流传感器的校准方法和研磨装置控制部有效
| 申请号： | 201810385500.X | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108789154B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 中村显 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B49/10 | 分类号： | B24B49/10;B24B37/34;G01B7/06 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种不剥离研磨垫就能够进行校准的涡电流传感器的校准方法。当将研磨对象物向研磨面按压而进行研磨时，为了利用涡电流传感器来对研磨对象物的膜厚进行测定而求出研磨对象物的膜厚与涡电流传感器的测定值之间的对应关系的涡电流传感器。该方法在第一步骤中，在使膜厚已知的研磨对象物与研磨面接触了的状态下，对涡电流传感器的输出进行测定，从而求出与该膜厚对应的涡电流传感器的测定值。在第二步骤中，当将研磨对象物向研磨面按压而进行研磨时，对涡电流传感器的输出进行测定，从而求出与研磨时的膜厚对应的涡电流传感器的测定值。根据第一步骤的测定值和第二步骤的测定值而求出研磨对象物的膜厚与涡电流传感器的测定值之间的对应关系。 | ||
| 搜索关键词： | 电流传感器 校准 方法 研磨 装置 控制 | ||
【主权项】：
1.一种涡电流传感器的校准方法，是当将研磨对象物向研磨面按压而进行研磨时，为了利用涡电流传感器来对所述研磨对象物的膜厚进行测定，求出所述研磨对象物的膜厚与所述涡电流传感器的测定值之间的对应关系的校准方法，该校准方法的特征在于，具有：第一步骤，该第一步骤在使膜厚已知的所述研磨对象物与所述研磨面接触了的状态下，对所述涡电流传感器的输出进行测定，从而求出与该膜厚对应的所述涡电流传感器的测定值；以及第二步骤，该第二步骤当将所述研磨对象物向所述研磨面按压而进行研磨时，对所述涡电流传感器的输出进行测定，从而求出与研磨时的膜厚对应的所述涡电流传感器的测定值，根据所述第一步骤的测定值和所述第二步骤的测定值而求出所述研磨对象物的膜厚与所述涡电流传感器的测定值之间的对应关系。
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- 周边磨床进给控制和碰撞检测方法，其具体步骤如下：(1)砂轮进给时采用噪声传感器接收数控磨床砂轮所发出的实时噪声信号，并将其接收到的实时噪声信号转换成砂轮与工件的距离；(2)定义噪声极限值对应砂轮与工件的距离A,当砂轮与工件的距离到达A时，噪声传感器的通道一接收砂轮所发出的实时噪声信号，输出改变速度控制信号给数控系统；(3)当噪声传感器的通道二检测到砂轮与工件的碰撞信号时，输出中断信号给数控系统，执行异步子程序。本发明的有益效果：通过设置噪声极限值来控制砂轮的进给速度，可控性高；设置不同的通道进行信号采集，提高控制可靠性和安全性。
- 用于抛光垫磨损率监测的预测滤波器-201880062268.4
- 锡瓦库马尔·达丹帕尼;钱隽 - 应用材料公司
- 2018-11-14 - 2020-05-08 - B24B49/10
- 公开一种用于化学机械抛光的装置，该装置包括：台板，具有表面以支撑抛光垫；载体头，以将基板固定为抵靠该抛光垫的抛光面；垫调节器，用来将调节盘固定为抵靠该抛光面；原位抛光垫厚度监测系统；和控制器，被配置为从该监测系统接收信号并通过将预测滤波器应用至该信号来产生抛光垫磨损率的测量。
- 一种直刀剪裁机的新型磨刀检测装置-201821833242.9
- 陆峰 - 江阴迈德机械有限公司
- 2018-11-08 - 2020-04-28 - B24B49/10
- 本实用新型涉及一种直刀剪裁机的新型磨刀检测装置，包括橡胶轮齿轮组件、传动齿轮组、磨刀器组件、电机和磁性检测传感器(1)，电机驱动橡胶轮齿轮组件转动，传动齿轮组将橡胶轮齿轮组件的转动转化为直线运动进而驱动磨刀器组件上下升降，橡胶轮齿轮组件中的橡胶轮(2)的轮面上设置磁性块(3)，所述磁性块(3)设置在橡胶轮(2)轮面的非旋转圆心位置，在磁性块(3)随橡胶轮(2)旋转过程中，磁性块(3)周期性旋转至正对磁性检测传感器而发生感应，感应频率即反应磨刀器组件运转的速度。本实用新型可对磨刀器组件的运转速度进行精确计算，不受磨刀器组件本身机械磨损的干扰。
- 一种直刀剪裁机从动轮转速检测装置-201920766530.5
- 陆峰 - 江阴迈德机械有限公司
- 2019-05-27 - 2020-04-24 - B24B49/10
- 本实用新型涉及一种直刀剪裁机从动轮转速检测装置，从动轮能够被主动轮带动旋转，该检测装置包括磁性检测传感器、磁性块，磁性块设置在所述从动轮的轮面上，且所述磁性块位于从动轮轮面的非旋转圆心位置以使磁性块随从动轮作周期性旋转运动；所述磁性检测传感器设置在所述从动轮所在的安装盖上，且所述磁性检测传感器轴向投影在所述磁性块的旋转圆周轨迹上，从而使磁性块周期性经过磁性检测传感器，磁性检测传感器对周期性经过的磁性块进行感应，感应频率即反应从动轮的转速。本实用新型可对从动轮的运转速度进行精确监测，从而间接反应直刀剪裁机的运行工况。
- 一种用于磨削加工行业的砂轮外圆径向跳动检测装置-201811085305.1
- 梁秀旦 - 张荣法
- 2018-09-18 - 2019-10-15 - B24B49/10
- 本发明公开了一种用于磨削加工行业的砂轮外圆径向跳动检测装置，包括检测装置本体，检测装置本体的内侧底面上固定连接有限位杆，限位杆的上部设置有齿轮，齿轮的上端固定连接有阶梯搭接板，阶梯搭接板的上表面设置有紧固螺孔，紧固螺孔的内部螺接有下压封板，下压封板的表面设置有滑动槽口，滑动槽口的内部滑动连接有加固插杆，加固插杆的顶面与下压封板之间固定连接有弹性弯折杆，检测装置本体的内壁上设置有限位槽口；本发明提出的砂轮外圆径向跳动检测装置在砂轮的夹持结构上加设加固插杆，避免夹持结构固定后跟随砂轮的转动而松动，提高砂轮外圆径向跳动检测的安全性。
- 专利分类
