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[发明专利]晶圆边缘抛光装置及晶圆边缘抛光方法-CN201910161397.5有效
发明人：潘雪明;李鑫;苏静洪 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本申请公开一种晶圆边缘抛光装置及晶圆边缘抛光方法，所述晶圆边缘抛光装置包括晶圆承载台和晶圆边缘抛光机构，其中，晶圆边缘抛光机构可包括抛光转盘和均匀设置的多个边缘抛光组件，每一个边缘抛光组件具有翻转主体以及分别设于翻转主体相对两端的边缘抛光件和页片，通过驱动抛光转盘旋转，利用页片可带动边缘抛光组件相对抛光转盘作预设幅度的翻转以令边缘抛光组件上的边缘抛光件针对晶圆承载台所承载的晶圆进行边缘抛光，整个结构简单，边缘抛光件与晶圆的相对位置易于控制，提高了晶圆边缘抛光的效率。
边缘抛光装置方法

[发明专利]一种开磨一体机工件大台面定位装置-CN202210732383.6有效
发明人： 苏静洪;张钦亮;张王锋;陶施家;陆吴强 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B24B19/22 文献下载
摘要：本发明公开一种开磨一体机工件大台面定位装置，定位装置包括底座，底座上紧固设有阵列分布的放置板，放置板上紧固设有阵列分布的移动件，底座上固定设有框架，底座上紧固设有对称分布的导轨，底座的一侧固定设有圆块，底座上转动设有蜗杆，底座上固定设有第一电机，第一电机的输出端与蜗杆紧固连接，底座的一侧转动设有第一锥齿轮和第二锥齿轮，第一锥齿轮上设有皮带，皮带与蜗杆紧固连接，第一锥齿轮和第二锥齿轮的轴线相互垂直。本发明定位装置，放置板定位移动，偏移小，导向稳定，移动件夹持固定牢固，框架上设有Z形块，固定和移动框架方便，便于调节，凸块顶起移动放置板，从而避免刀具与其他代加工的零件碰撞损坏，开磨操作简单。
一种一体机工件台面定位装置

[发明专利]一种晶棒自动翻转上下料装置及其使用方法-CN202210625402.5有效
发明人： 苏静洪;梁文;陆吴强;张王锋;韩鸣明 -专利权人：天通日进精密技术有限公司;天通控股股份有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B24B5/36 文献下载
摘要：本发明公开一种晶棒自动翻转上下料装置及其使用方法，属于晶片加工领域；一种晶棒自动翻转上下料装置包括底板、三爪卡盘、顶杆机构、翻转移动机构夹持机构、阻尼机构以及卡合机构；通过在底板上端设置三爪卡盘和顶杆机构来对晶棒进行夹持，并通过分别控制三爪卡盘和顶杆机构移动，来便于上下料；通过在底板上设置翻转移动机构和夹持机构，来实现对晶棒的移动翻转，并通过将第二齿条设置在远离精磨工位处，来避免晶棒的翻转发生干涉；通过在滑块的上设置阻尼机构，防止在转轴受惯性作用而发生转动，导致晶棒无法与卡盘同轴，而导致上料失败；通过在滑块上设置卡合机构，来防止晶棒翻转完成后，转轴受到外界干扰再次转动，影响上料精度。
一种自动翻转上下装置及其使用方法

[发明专利]一种开磨一体机主轴磨头横移组件-CN202210732377.0在审
发明人： 苏静洪;裴忠;吴张琪;陆吴强;沈鑫佳 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B24B41/047 文献下载
摘要：本发明公开了一种开磨一体机主轴磨头横移组件，包括主轴磨头安装座，所述主轴磨头安装座上设置有往复机构，所述往复机构包括正向驱动组件、反向驱动组件和转向组件，所述正向驱动组件包括滑轨、轴承限位板和限位连接板，所述滑轨上开设有滑槽，所述主轴磨头安装座上设置有滑块，所述滑块位于滑槽内部，所述轴承限位板设置有两个，本发明开磨一体机主轴磨头横移组件，通过改变多个电磁体之间的磁极，从而将主轴磨头的移动方向在极短的时间内做出改变，不需要改变伺服电机的转动方向，避免了对伺服电机的损伤，相比传统的主轴磨头横移组件，本发明对于板材等表面平整规则的工件加工更具优势，生产效率更高。
一种一体机主轴磨头横移组件

[发明专利]一种便于固定工件的开磨装置及其使用方法-CN202210624832.5有效
发明人： 苏静洪;朱勤超;俞佳文;张王锋;沈鑫佳 -专利权人：天通日进精密技术有限公司;天通控股股份有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本发明公开一种便于固定工件的开磨装置及其使用方法，包括开磨平台，开磨平台上转动设有转盘，转盘用于放置工件，开磨平台上固定有用于驱动转盘转动的第一电机，开磨平台的上方设有对称分布的侧板，转盘位于侧板之间，侧板上滑动夹持件，开磨平台上固定有用于控制夹持件升降的第一驱动件，一侧的夹持件上设有第一调节件。本发明开磨装置通过将第二调节件转动至水平，在水平状态下，两个第二夹持板处于同一高度，通过第二调节件将工件调整至处于第二调节件的中心，通过第一驱动件调整工型滑块的高度，工型滑块上下滑动的同时带动顶部支撑板上下滑动，顶部支撑板滑动的距离为工型滑块的二倍，保证工型滑块始终位于底部支撑板与顶部支撑板的中间位置。
一种便于固定工件装置及其使用方法

[发明专利]一种具有上下料翻转组件的开磨一体机-CN202210625396.3在审
发明人： 苏静洪;张峰;吴张琪;沈鑫佳;韩鸣明 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：本发明公开一种具有上下料翻转组件的开磨一体机，涉及机械设备领域，包括纵向移动机构，所述纵向移动机构的后侧顶端设置有纵向移动驱动机构，纵向移动机构的前端底部设置有切割控制机构，纵向移动机构的后端底部设置有翻转控制机构，翻转控制机构远离切割控制机构的一端设置有翻转辅助控制机构，翻转辅助控制机构的前端设置有移动控制机构，所述纵向移动机构包括核心支板，核心支板前端侧壁固定连接有纵向移动引导轴；同时，本发明在使用时，通过设置有自驱动式的翻转机构，能够实现非人工操作的翻转，提高工作安全度与工作效率，自动控制切割和翻转处理，且辅助机构能够辅助翻转，进一步提高工作效率。
一种具有上下翻转组件一体机

[发明专利]一种用于开磨一体机主轴磨头的磨削力检测装置-CN202210732389.3在审
发明人： 苏静洪;张钦亮;俞佳文;韩鸣明;陶施家 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用于开磨一体机主轴磨头的磨削力检测装置，包括：底板、检测件调节夹持组件、移动式测试组件。移动式测试组件包括：第一紧固杆、丝杆、第一伸缩缸、防护测试壳、第二伸缩缸、连接件、连杆、第二紧固杆、夹杆、夹件；检测件调节夹持组件包括：第三紧固杆、蜗杆、U型架、摆动杆、固定仓、弹性件、压板。本发明能够自主高效的完成对开磨机主轴磨头磨削力的检测，并且能够根据实际检测需要通过设置多种检测机构和多种检测方式，能够得到更加精确的检测数据，相比于传统的人工检测和单一结构的检测方式，本申请的检测数据更具说服性，检测能力更强，整体实用性高；能够通过联动结构完成对待测主轴磨头的多重固定，避免了检测过程中主轴磨头打滑，从而导致检测结果存在较大误差的情况发生。
一种用于一体机主轴磨削检测装置

[发明专利]硅棒切磨一体机-CN202011093270.3在审
发明人：卢建伟;苏静洪;李鑫;钱春军;曹奇峰 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒切磨一体机，所述硅棒切磨一体机集合了硅棒切割装置和研磨装置且将硅棒切割装置和研磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位，并设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置和第二转移装置，为第一、第二转移装置分别配置硅棒夹具与驱动机构，通过协调控制第一、第二转移装置以及硅棒切割装置和研磨装置，使得在同一时刻位于第一加工区位的硅棒切割装置和位于第二加工区位的研磨装置均处于工作状态，从而完成硅棒的开方及研磨多工序的一体化作业，提高生产效率及产品加工作业的品质。
硅棒切磨一体机

[发明专利]硅棒研磨机及硅棒研磨方法-CN202011521314.8在审
发明人： 苏静洪;李鑫;钱春军;曹奇峰;卢建伟 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒研磨机及硅棒研磨方法，硅棒研磨机包括机座、第一硅棒夹具、第二硅棒夹具、粗磨装置及精磨装置，粗磨装置具有相对设置的至少一对粗磨磨具，精磨装置具有相对设置的至少一对精磨磨具，粗磨装置和精磨装置设于一换位机构上，通过协调控制第一硅棒夹具、第二硅棒夹具与粗磨装置、精磨装置，使得在同一时刻硅棒研磨机中的粗磨装置和精磨装置均处于工作状态，通过控制换位机构以驱动粗磨装置和精磨装置在第一加工区位和第二加工区位之间转换位置，使得位于第一加工区位的第一硅棒夹具或第二加工区位的第二硅棒夹具所夹持的硅棒在对应的加工区位上即可完成粗磨作业和精磨作业，提升了硅棒研磨效率及经济效益。
研磨机研磨方法

[发明专利]硅棒加工设备及硅棒加工方法-CN202011008813.7在审
发明人： 苏静洪;李鑫;钱春军;曹奇峰;卢建伟 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒加工设备及硅棒加工方法，其中，所述硅棒加工设备上设有第一加工区位及第二加工区位，即可在两个加工区位上同时进行硅棒加工作业，硅棒加工效率由此提高；同时，所述硅棒加工设备的切割装置可藉由第一转换机构在不同加工区位间切换，研磨装置可藉由第二转换机构在不同加工区位件切换，令硅棒夹具带动所夹持的硅棒沿硅棒轴线方向移动，在任一加工区位即可实现开方切割及研磨作业，硅棒在不同工序间的转运路径被化简；如此，本申请的硅棒加工设备在实现提高加工效率的同时简化了硅棒在不同工序间加工的转运路径，减少了工序流转的人力损耗、时间损耗及硅棒被损坏的风险。
加工设备方法

[发明专利]切割装置及硅棒加工设备-CN202011179688.6在审
发明人： 苏静洪;卢建伟;钱春军;曹奇峰;李鑫 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种切割装置及硅棒加工设备；所述切割装置具有至少一线切割单元，所述线切割单元中通过确定切割轮及过渡轮的布设方式，令切割线以首尾相接的方式绕于切割轮及过渡轮之间，线切割单元由此形成可用于对硅棒开工切割的切割容纳空间，所述切割装置的整体结构可被化简，有益于减小装置成本；同时，环形切割线在被运行以执行切割的过程中可避免切割线的加速、减速过程对切割精度造成影响，使得切割精度提高，有益于简化后续工序。
切割装置加工设备

[发明专利]硅棒研磨机和硅棒研磨方法-CN202011112590.9在审
发明人： 苏静洪;卢建伟;李鑫;钱春军;曹奇峰 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒研磨机和硅棒研磨方法，其中，所述硅棒研磨机将粗磨装置与精磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位，设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置与第二转移装置，并为第一转移装置和第二转移装置均配置硅棒夹具与驱动机构，通过协调控制第一转移装置、第二转移装置与粗磨装置、精磨装置，使得在同一时刻所述硅棒研磨机粗磨装置与精磨装置均处于工作状态，在保持硅棒研磨机的尺寸规格与成本的基础上大幅提升研磨作业效率，缩减了研磨作业耗时，提升了经济效益。
研磨机研磨方法

[发明专利]线切割装置及硅棒加工设备-CN202010544531.2在审
发明人： 苏静洪;吴张琪;梁文;卢建伟;潘雪明;曹奇峰;钱春军 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种线切割装置及硅棒加工设备；线切割装置中包括至少一调距机构并设于至少一线切割单元上，在所述调距机构作用下，可驱动所述线切割装置中至少一线切割单元的多个切割轮沿第二方向移动，绕于所述多个切割轮形成的至少一切割线锯由此可在调距机构作用下更改在第二方向的切割位置，又或，基于所述多个切割轮在第二方向移动可变换切割线绕于所述多个切割轮的线槽位置，基于所述调距机构实现切割线位置变换或换槽的过程简易，易于实现且操作便捷，有利于提高操作效率。
切割装置加工设备

[发明专利]线切割装置及硅棒加工设备-CN202010544562.8在审
发明人： 苏静洪;朱勤超;张王锋;潘雪明;曹奇峰;钱春军;卢建伟 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种的线切割装置及硅棒加工设备；线切割装置的线切割单元中包括至少一移位机构用于驱动所述至少一过渡轮沿第二方向移动，以使所述至少一过渡轮中经切割缠绕的当前导线槽在第二方向上从对应于所述切割轮的第一线槽移动至对应于所述切割轮的第二线槽；线切割装置在可藉由所述至少一移位机构在换槽过程中无需调整切割线绕于导线槽的槽位，换槽后可省去对过渡轮的调整、校准等操作；同时，所述过渡轮可采用单槽过渡轮即可实现换槽，在实际场景中，还可将过渡轮设置为可更换式的消耗性过渡轮，当过渡轮的导线槽磨损后直接更换过渡轮即可，使得对切割造成的设备磨损的设备维护过程化简。
切割装置加工设备

[发明专利]边皮卸料装置及硅棒开方设备-CN202010544563.2在审
发明人：曹奇峰;苏静洪;张王锋;钱春军;潘雪明;卢建伟 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本申请公开一种用于硅棒开方设备的边皮卸料装置及硅棒开方设备；其中，所述边皮卸料装置边皮提升单元和边皮夹持单元，在闲置状态下边皮夹持单元可收纳于硅棒开方设备机座上方的空间内以节省硅棒开方设备整体占据的设备空间，在边皮夹持转运状态下边皮夹持机构可通过摆臂绕摆臂转轴旋转以将所夹持的边皮转运至边皮卸载区，由此缩短转运路径，同时，所述边皮卸载装置中可设置多组边皮夹持机构与硅棒开方设备的硅棒承载结构一一对应，以提高边皮夹持转运的效率，缩减时间成本。
卸料装置开方设备

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