[发明专利]一种增强透射的纳米环形近场光学探针及其制备方法有效
| 申请号： | 201810357732.4 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108614130B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 曾志豪;王海卫;谢长生;李红云;黄涛;邹宇豪;肖瑶 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01Q60/22 | 分类号： | G01Q60/22;G02B6/26;G02B5/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种增强透射的纳米环形近场光学探针及其制备方法，该探针由光纤纤芯、纳米环形结构、金属膜及中心增强透射孔构成，纳米环形结构分布在光纤纤芯平滑端头的二氧化硅与金属膜的界面处，能使激发光转化成等离激元，聚焦到中心增强透射孔中，并且产生纳米尺度及具备高度方向性的增强透射光。同时通过改变和优化环形结构位置与宽度、金属膜材料及厚度，中心增强透射孔尺寸大小等，皆可以实现纳米聚焦的调控和优化。本发明可用作扫描近场光学显微镜、原子力显微镜和针尖增强拉曼光谱仪的探针，光学探针形成的高方向性纳米尺度增强透射近场光可以用作纳米光刻和亚波长光通信的光源，并且在纳米传感、纳米成像等诸多领域具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 透射 纳米 环形 近场 光学 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种增强透射的纳米环形近场光学探针，其特征在于，包括：光纤纤芯、纳米环形结构、金属膜及中心增强透射孔；所述光纤纤芯的锥形针尖的顶端为所述光纤纤芯的端面，在所述光纤纤芯的端面上刻蚀有所述纳米环形结构，在所述纳米环形结构上镀有所述金属膜，所述金属膜延续所述纳米环形结构的环形拓扑结构，所述中心增强透射孔在所述纳米环形结构的中心，且贯穿所述金属膜，在所述纳米环形结构的中心刻蚀有圆柱形凹陷。
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- 一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法-201410075679.0
- 陈东学;苗俊杰;刘前 - 国家纳米科学中心
- 2014-03-04 - 2014-06-04 - G01Q60/22
- 本发明涉及一种表面等离子体激元增强针尖，所述增强针尖包括：（1）透明衬底：用于光线入射；（2）金属薄膜：设置于透明衬底的一侧，在所述金属薄膜上开有螺旋结构的狭缝；（3）金属针尖：包括金属针尖的尖部和根部，根部连接金属薄膜，且位于螺旋结构的中心。本发明提供的增强针尖的针尖增强效果好，能够实现3个数量级的针尖增强；可实现0.03λ0的分辨率，增强深度达到50nm；大大提高了信噪比和灵敏度；操作方便简单，易于形成大面积针尖阵列，提高扫描速度。
- 针尖增强暗场显微镜、电化学测试装置和调平系统-201210288539.2
- 田中群;王芳芳;詹东平;周剑章 - 厦门大学
- 2012-08-14 - 2012-11-28 - G01Q60/22
- 本发明提供一种针尖增强暗场显微镜、电化学测试装置和调平系统。本发明的针尖增强暗场显微镜的特征在于，所述针尖增强暗场显微镜使用光纤探针，所述光纤探针的针尖处修饰有金属纳米颗粒，而且入射光在修饰有金属纳米颗粒的光纤探针内部传输，针尖和样品间的距离采用光强控制模式，是一种利用了探针针尖处纳米金属颗粒与金属基底材料近场耦合作用的局域表面等离激元共振暗场耦合装置。该显微镜可用于研究基底表面的双电层结构、吸/脱附行为及多相催化等基础表界面化学问题。另外，基于LSPR距离敏感性原理，针尖增强暗场显微镜可应用于三探针水平传感器对纳米加工平台进行自适应调平。
- 一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法-201210031361.3
- 邵天敏;张少婧;刘佳琛;王惠;刘大猛 - 清华大学
- 2012-02-13 - 2012-07-18 - G01Q60/22
- 本发明涉及一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法，包括以下步骤：对原始光纤进行预处理；将预处理后的光纤的固定在聚焦离子束系统的样品台上，调整样品台的方位，使聚焦离子束系统的离子束出射方向垂直于光纤的中心轴，启动聚焦离子束系统对光纤的端面进行铣削，使其端面光滑平整；调整样品台的方位，使聚焦离子束的出射方向垂直光纤的末端面，将圆环状灰度图转换成.bmp文件通过计算机输到聚焦离子束系统的图形发生器中对光纤末端的圆柱面进行逐层铣削；改变聚焦离子束系统的加工参数，将其处于精铣削的状态，将锥角灰度图转换成.bmp文件通过计算机输到聚焦离子束系统的图形发生器中对光纤的端面进行铣削，获得所需光纤探针。本发明可以广泛应用于光纤探针的制备中。
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