[发明专利]固态摄像器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201780070490.4 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109983578B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 竹内幸一 | 申请（专利权）人： | 索尼半导体解决方案公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146;G02B1/115;G03F7/20;H01L21/027;H04N25/70 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;曹正建 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本技术涉及能够通过抑制反射和衍射来提高图像质量的固态摄像器件及其制造方法。所述固态摄像器件设置有：基板，其包括各个像素单元中的光电转换部；以及反射率调节层，其在入射光相对于所述基板的入射方向上设置于所述基板上，且用于调节入射光在所述基板上的反射。所述反射率调节层包括：形成在所述基板上的第一层和形成在所述第一层上的第二层，所述第一层具有设置在所述基板上的凹凸结构，并且所述凹凸结构上的凹部被填充有用于形成所述第二层的具有比所述基板的折射率低的折射率的材料，并且所述第一层的厚度是针对要接收的光的波长而被优化的厚度。本技术可以应用于摄像装置。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 摄像 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种固态摄像器件，包括：基板，所述基板包括各个像素单元中的光电转换部；以及反射率调节层，所述反射率调节层在入射光相对于所述基板的入射方向上设置在所述基板上，用于调节所述入射光在所述基板上的反射，其中，所述反射率调节层包括：形成在所述基板上的第一层和形成在所述第一层上的第二层，所述第一层具有设置在所述基板上的凹凸结构，所述凹凸结构上的凹部被填充有用于形成所述第二层的具有比所述基板的折射率低的折射率的材料，并且所述第一层的厚度是针对要接收的光的波长而被优化的厚度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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