[发明专利]13族元素氮化物层、复合基板以及功能元件在审
| 申请号： | 201780062316.5 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109863262A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 矶田佳范;野口卓;内川哲哉;平尾崇行;下平孝直;今井克宏 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有第一主面及第二主面的13族元素氮化物层。13族元素氮化物层具备：设置于第一主面侧的第一空隙缺乏层、设置于第二主面侧的第二空隙缺乏层、以及设置于第一缺乏层与第二缺乏层之间的空隙分布层。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物层 族元素 主面 复合基板 功能元件 分布层 | ||
【主权项】：
1.一种13族元素氮化物层，其具有第一主面及第二主面，所述13族元素氮化物层的特征在于，具备:第一空隙缺乏层，该第一空隙缺乏层设置于所述第一主面侧；第二空隙缺乏层，该第二空隙缺乏层设置于所述第二主面侧；以及空隙分布层，该空隙分布层设置于所述第一空隙缺乏层与所述第二空隙缺乏层之间。
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- 本发明提供一种氮化镓自立基板，由在大致法线方向具有单晶结构的板形成，所述板由多个氮化镓系单晶粒子构成。该氮化镓自立基板可以通过包含如下工序的方法制造：准备取向多晶烧结体，在取向多晶烧结体上形成包含氮化镓的晶种层，形成的晶种层的晶体取向与取向多晶烧结体的晶体取向基本一致，在晶种层上，形成厚度20μm以上的由氮化镓系结晶构成的层，形成的由氮化镓系结晶构成的层的晶体取向与晶种层的晶体取向基本一致，除去取向多晶烧结体，得到氮化镓自立基板。根据本发明，能够提供廉价且适合大面积化、作为氮化镓单晶基板的替代材料有用的氮化镓自立基板。
- 复合基板、其制造方法、13族元素氮化物构成的功能层的制造方法以及功能元件-201380001900.1
- 仓冈义孝;岩井真 - 日本碍子株式会社
- 2013-07-19 - 2018-09-14 - C30B29/38
- 一种复合基板10，包含蓝宝石基板1A、设置于蓝宝石基板表面的氮化镓晶体构成的晶种膜4、以及在该晶种膜4上结晶生长的厚度200μm以下的氮化镓晶体层7。蓝宝石基板1A与晶种膜4的界面设置有空隙5，该空隙比率为4.5～12.5％。
- 专利分类
- 生产乙酸或乙酸与乙酸乙酯的催化剂及其制备方法和用其生产乙酸或乙酸与乙酸乙酯的方法
- 脱除氮氧化物的材料和设备
- 薄膜太阳能电池的光吸收层的制备方法及利用其的薄膜太阳能电池
- 复合储氢材料及其制备方法
- 添加剂的应用、电极浆料、添加剂浆料、锂离子电池正极或负极及其制备方法和锂离子电池
- 锂离子电池复合活性物质及其制备方法、锂离子电池电极浆料、正极或负极以及锂离子电池
- 添加剂的应用、电极浆料、添加剂浆料、锂离子电池正极或负极及其制备方法和锂离子电池
- 锂离子电池复合活性物质及其制备方法、锂离子电池电极浆料、正极或负极以及锂离子电池
- 用于形成n-型氧化物半导体膜的涂布液、n-型氧化物半导体膜制造方法和场效应晶体管制造方法
- 无镉量子点及其制备方法、无镉量子点组合物
