[发明专利]引线接合装置、其电路以及半导体装置的制造方法

摘要

本发明提供一种引线接合装置、引线接合装置用电路及半导体装置的制造方法。包括：线轴、夹持器、焊炬电极、高压电源电路、断开检测电路、切换线轴与高压电源电路或断开检测电路的连接的第一切换开关、以及使夹持器与第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断的继电器，并且包括控制部，所述控制部是将第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使继电器关断而产生放电，将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通而进行断开检测。因此，能够利用简单的结构，来抑制引线夹持器的电腐蚀，并且进行断开检测。

主权项

1.一种引线接合装置，包括：线轴；夹持器，抓持从所述线轴抽出的引线；焊炬电极，通过放电而在所述引线的前端形成自由空气球；高压电源电路，对所述焊炬电极供电；断开检测电路，进行所述引线与元件或基板的断开检测；第一切换开关，切换所述线轴与所述高压电源电路或所述断开检测电路的连接；继电器，使所述夹持器与所述第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断；以及控制部，将所述第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使所述继电器关断而产生所述放电，将所述第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使所述继电器接通而进行所述断开检测。