[发明专利]一种MEMS行波型微马达结构在审
| 申请号： | 201711206727.5 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN107947631A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 杜亦佳;陈余;代刚;周泉丰;李小石;弓冬冬;颜薪瞩;杨婷婷 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H02N2/16 | 分类号： | H02N2/16;H02N2/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS行波型微马达结构，包括转子结构、定子行波驱动器结构和预紧力结构，所述定子行波驱动器结构下端与所述预紧力结构固定连接，所述转子结构包括转子壳体和转子，所述转子与所述定子行波驱动器结构紧密压紧在一起，所述转子壳体套设在所述转子的外面。通过以上结构设计，基于MEMS工艺的马达包括转子结构、定子行波驱动器结构和预紧力结构，信号互连不需要键合引线，使得器件结构更加紧凑尺寸更加小，本发明提出的马达结构通过键合即可完成组装，因此具有装配少，方便批量化生产的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 行波 马达 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS行波型微马达结构，其特征在于：包括转子结构、定子行波驱动器结构和预紧力结构，所述定子行波驱动器结构下端与所述预紧力结构固定连接，所述转子结构包括转子壳体和转子，所述转子与所述定子行波驱动器结构紧密压紧在一起，所述转子壳体套设在所述转子的外面。
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