[发明专利]一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法有效
| 申请号： | 201711179959.6 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN107733393B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 梁圣法;李冬梅;刘明;谢常青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法。通过使用多个接收换能器，来实现多频信号的输出；利用发散状叉指发送换能器，来减小器件的插入损耗及实现激励的声表面波带宽的展宽；利用刻蚀的方法，在压电衬底中形成声子晶体点阵，声子晶体点阵不易受外部应力损坏，延长了器件的使用寿命；利用在声子晶体点阵与接收换能器之间插入栅阵列，来进一步增强了器件的滤波特性；通过在器件表面生长一层二氧化硅温度补偿层，来抑制器件的温漂特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 表面波 滤波器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种声子晶体声表面波滤波器，包括：压电衬底、发送换能器、声子晶体点阵、接收换能器；其中，所述接收换能器的数量为N个，其中N至少等于2；所述发送换能器、接收换能器，形成于压电衬底上表面；所述声子晶体点阵位于所述发送换能器、接收换能器围成区域的中心位置。
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