[发明专利]一种激光辅助加热化学气相沉积镀膜装置及方法有效
| 申请号： | 201711044757.0 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107881489B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘涌;韩高荣;马晔城;林威豪;宋晨路;汪建勋 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 33224 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光辅助加热化学气相沉积镀膜装置及方法，属于镀膜技术领域，其中，激光辅助加热化学气相沉积镀膜装置包括一通风柜，贯穿通风柜一侧且用于搭载玻璃基板的滑动式预热系统、贯穿通风柜另一侧的激光加热系统以及与滑动式预热系统和激光加热系统通讯连接的控制系统，激光加热系统位于滑动式预热系统的上方；激光加热系统包括一红外CO | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 辅助 加热 化学 沉积 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光辅助加热化学气相沉积镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：/n预热，利用加热装置对玻璃基板进行预热；/n局部升温，利用CO
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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