[发明专利]蚀刻液组合物以及有机发光显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201711043223.6 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN108018558B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 梁熙星;朴弘植;郑锺铉;金奎佈;申贤哲;李秉雄;李相赫 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C09K13/04;C09K13/06;H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一实施例提供一种蚀刻液组合物以及有机发光显示装置的制造方法，所述蚀刻液组合物相对于总重量包括：磷酸，50至70重量％；硝酸，0.5至5重量％；氯化物，0.1至1重量％；磺酸化合物，0.5至5重量％；以及水，20至40重量％。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 以及 有机 发光 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻液组合物，其特征在于，相对于总重量，包括：磷酸，50至70重量％；硝酸，0.5至5重量％；氯化物，0.1至1重量％；磺酸化合物，0.5至5重量％；以及水，20至40重量％。
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